Published June 29, 2016 | Version v1
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Otto Chip Vazado como Transdutor de Pressão por Ressonância de Plasmons de Superfície

Creators

  • 1. Instituto Federal de Pernambuco
  • 2. Universidade de Pernambuco
  • 3. Centre Tecnològic de Telecomunicacions de Catalunya (CTTC)
  • 4. Chonbuk National University
  • 5. Universidade Federal de Pernambuco

Description

Um Otto chip selado com janela de quartzo foi recentemente desenvolvido para aplicações na área de sensores
por ressonância de plasmons de superfície (RPS). Neste trabalho, um dispositivo tendo configuração alternativa, denominado de Otto chip vazado, foi fabricado em silício com estrutura aberta e caracterizado quanto ao efeito de RPS em 975,1 nm. São
descritas as etapas de fabricação do dispositivo e seu potencial de aplicações é demonstrado como transdutor de pressão.

Notes

Grant numbers : NANOWAVE (PIB2010BZ-00585) and the Catalan Government (2014-SGR-1551).

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