Published October 18, 2021 | Version v1
Journal article Open

НОДИР ЕР ЭЛЕМЕНТЛАРИ БИЛАН ЛЕГИРЛАНГАН КРЕМНИЙНИНГ ЭЛЕКТРОФИЗИК ХОССАЛАРИ

Description

Кремнийни нодир ер элементлари билан легирлаш бўйича сўнгги йиллардаги илмий ишларнинг кўрсатишича, кремнийда термик ишлов ва радиацион нурланиш таъсири натижасида ҳосил бўладиган термик ва радиациавий нуқсонлар шунингдек, термик ишлов жараёнида кремнийга кириб кетиши ва унинг электрофизик ҳоссаларини ўзгартириб юбориши мумкин бўлган Ni, Na, Fe каби тез диффузияланувчи киришмалар намунанинг ва унинг асосида ясаладиган асбобларнинг электрофизик параметрларини ўзгартириб юбориши маълум.

Files

V1I2002.pdf

Files (685.2 kB)

Name Size Download all
md5:c2eb7240a413da8ad62a7f1858f51b93
685.2 kB Preview Download