Published July 31, 2024
| Version v1
Publication
Open
ФОТОЭЛЕМЕНТЫ НА ОСНОВЕ Si C МИКРОБАРЬЕРАМИ ШОТТКИ
Description
Как показано в работах [1, 2] в условиях низкотемпературного и многоэтапного легирования кремния, атомы никеля в решетке создают кластеры. Управляя условиями легирования можно варьировать размеры таких кластеров в широком интервале 0,1¸5 мкм.
Files
TAFU 07358.pdf
Files
(744.0 kB)
| Name | Size | Download all |
|---|---|---|
|
md5:7a655a62718d451503eab7b9b493eeef
|
744.0 kB | Preview Download |