МЕХАНИЗМ ОБРАЗОВАНИЯ КЛАСТЕРОВ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ НИКЕЛЯ И ФОСФОРА

В этой работе показана результаты исследовании кремниевой пластины в которую внедрены примесные атомы никеля и фосфора методом диффузионного легирования. Исследование методом Ван дер Пау показал, что удельное сопротивление образцов ρ=0,14 Ω·cm, концентрация дырок np=9·1017/cm-3, подвижность µp=51 cm2/v·s. Топографические снимки электростатической силовой микроскопии показали, что на поверхности пластины наблюдается нанокластеры примесных атомов размером от 50 до 500 нм.