Экспериментальные исследования электроразрядного датчика низкого давления

Проанализированы ионизационные процессы в азотно-кислородной плазме низкого давления (10^-3 Па < p < 1 Па) в скрещенных электрическом и магнитном полях. Приведена методика расчета ВАХ, по которой однозначно находится давление в газе. Сравнение теории с экспериментом удовлетворительное.

The analysis of plasma chemical reactions in nitrogen–oxygen plasma with low pressure (10^-3 Pa < p < 1 Pa) is presented. A set of equations is proposed to find the VAC. It is shown that there is a possibility to determine identically the pressure in some gas through measuring the AC. The comparison between theory and experiment is satisfactory.