Scalable Chip Manufacturing Machine Based on GO-to-rGO Conversion

Soyut

Bu çalışma, çoklu otomotiv yarı iletken mimarileri için alternatif bir üretim platformu olarak GO-rGO dönüşümüne dayalı ölçeklenebilir bir çip üretim makinesi önermektedir. Birincil amaç, farklı EV çip fonksiyonlarının, boyutlarının ve hesaplama mimarilerinin çipe özgü fiziksel tasarımlara ve üretim kalıplarına dönüştürülebileceği ortak bir üretim sistemi geliştirmektir. Önerilen makine, seçilen bir çipin fonksiyonel gereksinimlerini hesaplama hücresi düzenlemelerine, yol ağlarına, bağlantı yapılarına ve eksiksiz kalıp geometrilerine dönüştüren entegre bir çip tasarım ve kalıp oluşturma sistemini içermektedir. Elde edilen tasarım, kontrollü desen oluşturma, metroloji ve yerelleştirilmiş düzeltme yoluyla yüksek hassasiyetli bir silikon ana kalıp üretmek için kullanılır. Daha sonra, nitelikli ana kalıptan bir PFPE ara kalıp üretilir ve nikel elektroformlama için şablon olarak kullanılır, böylece tekrarlanan çip üretimi için dayanıklı bir çalışma kalıbı oluşturulur. Bu ana-ara-çalışma kalıbı mimarisi, hassas referansı seri üretimden ayırır ve farklı çip mimarilerinin, tüm makineyi değiştirmek yerine dijital tasarımı ve ilgili çalışma kalıbını değiştirerek üretilmesini sağlar. Elde edilen çalışma kalıbı, daha sonraki GO desen transferi ve lazer kontrollü GO-rGO elektriksel programlaması için fiziksel temeli oluşturarak, ölçeklenebilir bir Morphic çip üretim platformunun ilk üretim aşamasını sağlar.

https://dynisos.com/