Published November 27, 2025
| Version v1
Conference paper
Open
ПОЛУЧЕНИЯ КОНДЕНСИРОВАННЫХ НАНОСТРУКТУР С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЗАРЯЖЕННЫХ КЛАСТЕРОВ ПРИ ИОННОМ РАСПЫЛЕНИИ
Authors/Creators
Description
Описаны некоторые аспекты использования кластерных пучков для формирования поверхностных наноструктур ионным осаждением. Показаны возможности и перспективы применения для решения этих задач кремниевых и других кластеров, полученных ионным распылением поверхности.
Files
2.11.pdf
Files
(427.2 kB)
| Name | Size | Download all |
|---|---|---|
|
md5:41ed87a1f2344e5ed2bc14787c237d7e
|
427.2 kB | Preview Download |