Published March 7, 2024 | Version v1
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Piezoresistive Microcantilever-Tastsonde und Messsystem für die Kontakt-Resonanz-Profilometrie (LaTeX)

Creators

  • 1. TU Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik

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LaTeX Quellcode inklusive Abbildungen der Dissertation "Piezoresistive Microcantilever-Tastsonde und Messsystem für die Kontakt-Resonanz-Profilometrie"; veröffentlicht 2024.

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Dissertation: 10.24355/dbbs.084-202402081849-0 (DOI)

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