Published April 13, 2023
| Version v1
Conference paper
Open
МАРГАНЕЦ ОЛИЙ СИЛИЦИДИ ПАРДАСИ БИЛАН МАРГАНЕЦ КИРИШМАЛИ КРЕМНИЙ КОНТАКТИ АСОСИДАГИ ТУЗИЛМАЛАРДА ЭЛЕКТР ВА ФОТОЭЛЕКТР ХОДИСАЛАР ТАДҚИҚОТИ
Description
Кремний сиртида хосил бўлган марганец силицид қатламининг физик хусусиятлари ўрганилган. Марганец силицидларининг қатлами кремний сиртига қаттиқ фазадаги реакция усили билан олинган бўлиб, бунда ўта тоза марганец метали, кимёвий ўта тозаланган монокристалл кремний сиртида олинди. Кремний сиртига марганец силицидлари хосил қилинганидан сўнг, унинг кристалл панжара тузилиши, морфологияси ва фаза таркиби электронограф ва электрон микроскоп қурилмаларида, JXA- 840 русумидаги электронограф ҳамда XL 30SFED русимидаги электрон микроскоп ёрдамида ўрганилди. Кремнийга марганец силицид қатламининг хосил бўлиши динамик жараёни турғун ва турғун бўлмаган холатларга боғлиқлиги кўрсатиб берилди.
Files
Хусанов.pdf
Files
(575.1 kB)
| Name | Size | Download all |
|---|---|---|
|
md5:017e80091981c6df6153b5a178754a83
|
575.1 kB | Preview Download |