АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНОГО ПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ И ТЕМПЕРАТУРЫ ОТЖИГА НА ОПТИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОКРЫТИЯ НА ПРИМЕРЕ ZN(AL)O (AZO).

В данной работе оптические и электрофизические свойства прозрачного проводящего покрытия Zn(Al)O были проанализированы на основе результатов с использованием метода двойного гидроксидного осаждения (LDH-layered double hydroxide) и золь-гель (sol-gel) метода. При толщине до 100 нм коэффициент пропускания составляет около 85-95 процентов, а при толщине до 1000 нм коэффициент пропускания находится в пределах 50-80 процентов. При толщине покрытия Zn(Al)O около 1000 нм его удельное сопротивление снижается до 2 Ω/кв. Наилучшие оптические и электрофизические характеристики покрытия Zn(Al)O проявляются в диапазоне температур отжига от 300 °С до 400 °С. Диапазон барьерной зоны уменьшается при высоких температурах отжига, что играет важную роль в оптическом профиле пленки в процессе изготовления. При высоких температурах отжига оптическая ширина запрещенной зоны уменьшается, что играет активную роль при последующей обработке оптического профиля пленок ММО (MMO-mixed metal oxide).