Radiation effects on surface micromachined comb drives and microengines

Authors/Creators

• Schanwald, L. P.
• Schwank, J. R.
• Sniegowsi, J. J.
• Walsh, D. S.
• Smith, N. F.
• Peterson, K. A.
• Shaneyfelt, M. R.
• Winokur, P. S.
• Smith, J. H.
• Doyle, B. L.