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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;39.31;Termal;250;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;17_DB_dic_irdi__004;FEI_HELIOS;36.0367;77.502;3.125;26.52856526;1.651522416;13.26428263;;17_DB_dic_irdi__004_FE_InvRisol=3.125_d=13.264_l0=26.529.tif;3.125;26.3918;2023;1744;0.1276;411.6573;392.0105;1.131;1.3892;572;536;354;288;12;10;12;10;316;331;2;5;0;3;710;668;1378;34454218.75;2.00E-05;19.9976;42000;0.258435962;0.170533158;0.209464777;0;9.316711034;0.319264241;0.638528482;9.389271089;0.203168153;0.043536033;False;System A 15;17-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;39.31;Termal;250;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;17_DB_dic_irdi__006;FEI_HELIOS;36.0367;77.502;1.5625;26.88881389;2.617185807;13.44440694;;17_DB_dic_irdi__006_FE_InvRisol=1.562_d=13.444_l0=26.889.tif;1.5625;26.7782;1996;1717;0.0477;411.8977;381.48;0.748;1.041;300;299;42;99;2;7;2;7;110;42;0;0;0;0;158;162;320;8367021.484;1.91E-05;19.1227;42000;0.206111498;0.111273038;0.154859936;0;8.425937489;0.537825797;1.075651594;9.08328013;0;0;False;System A 17;17-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;35.59;Termal;270;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;18_DB_dic_irdi__005;FEI_HELIOS;35.8537;76.6046;2.08333;26.64409027;1.403128981;13.32204514;;18_DB_dic_irdi__005_FE_InvRisol=2.083_d=13.322_l0=26.644.tif;2.0833;26.5836;2008;1729;-0.1476;1689.0445;1312.4945;0.8059;0.9145;435;432;33;119;2;3;2;3;140;21;1;0;0;0;181;149;330;15068667.06;1.10E-05;10.9499;42000;0.11364437;0.12098743;0.137291233;0;5.043578155;0.165907176;0.331814352;5.342211072;0.06636287;0;False;System A 28;18-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;35.59;Termal;270;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;18_DB_dic_irdi__006;FEI_HELIOS;35.8537;76.6046;1.5625;26.79187863;1.588176909;13.39593932;;18_DB_dic_irdi__006_FE_InvRisol=1.562_d=13.396_l0=26.792.tif;1.5625;26.6667;1996;1717;0.0226;704.1528;506.3874;0.7001;0.8769;277;275;34;66;1;4;1;4;81;23;2;0;0;0;122;101;223;8367021.484;1.33E-05;13.3261;42000;0.234160048;0.104524212;0.130920271;0;5.975842191;0.29879211;0.597584219;6.214875879;0.239033688;0;False;System A 29;18-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;35.59;Termal;270;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;18_DB_dic_irdi__007;FEI_HELIOS;35.8537;76.6046;1.5625;26.90105514;1.801880083;13.45052757;;18_DB_dic_irdi__007_FE_InvRisol=1.562_d=13.451_l0=26.901.tif;1.5625;26.7782;1996;1717;0.4907;748.0543;452.8187;0.6364;0.8649;287;286;18;69;3;7;3;7;81;11;1;0;0;0;110;101;211;8367021.484;1.26E-05;12.609;42000;0.228868944;0.094628258;0.128604621;0;5.198982706;0.597584219;1.195168438;5.497774816;0.119516844;0;False;System A 30;19-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;54.08;Termal;190;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.2;19_DB_dic_irdi_013;FEI_HELIOS;38.0586;76.3;6.25;72.40413787;9.297292082;36.20206893;;19_DB_dic_irdi_013_FE_InvRisol=6.250_d=36.202_l0=72.404.tif;6.25;71.1111;2012;1733;0.4955;124.8541;126.56;3.7499;5.857;361;287;6786;1891;96;25;96;25;2047;6717;37;205;0;1;9195;9096;18291;136202968.8;6.72E-05;67.1461;146000;0.900976012;0.207164956;0.323572667;0;31.85319703;0.444190024;0.888380049;32.17257333;1.776760097;0.003670992;False;System A 32;01-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;46.37;Termal;190;1200;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;1_DB_dic_irdi_002;FEI_HELIOS;38.9079;74.1356;3.125;26.27326019;0.751131867;13.1366301;;1_DB_dic_irdi_002_FE_InvRisol=3.125_d=13.137_l0=26.273.tif;3.125;26.2295;2023;1744;0.4311;678.2608;676.8929;1.1198;1.6557;531;478;2969;197;50;13;50;13;197;2529;11;316;1;30;3341;3489;6830;34454218.75;9.91E-05;99.117;42000;0.083348361;0.170485123;0.25207378;0;45.94502669;0.91425669;1.828513381;39.55974187;9.490855166;0.44987234;False;System A 34;01-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;46.37;Termal;190;1200;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;1_DB_dic_irdi_010;FEI_HELIOS;38.9079;74.1356;3.125;26.4856951;1.467072943;13.24284755;;1_DB_dic_irdi_010_FE_InvRisol=3.125_d=13.243_l0=26.486.tif;3.125;26.3374;2023;1744;0.3317;232.1708;201.1986;1.1122;1.3573;489;442;623;281;17;7;17;7;352;561;3;9;0;0;1032;881;1913;34454218.75;2.78E-05;27.7615;42000;0.280739143;0.167969917;0.204986125;0;13.1188579;0.348288263;0.696576526;13.249466;0.348288263;0;False;System A 41;01-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;46.37;Termal;190;1200;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;1_DB_dic_irdi_011;FEI_HELIOS;38.9079;74.1356;3.125;26.43692508;1.417102398;13.21846254;;1_DB_dic_irdi_011_FE_InvRisol=3.125_d=13.218_l0=26.437.tif;3.125;26.3918;2023;1744;0.1994;248.9817;210.9098;1.1095;1.3527;447;389;604;284;16;8;16;8;359;539;3;7;0;0;1017;861;1878;34454218.75;2.73E-05;27.2536;42000;0.085417697;0.167871263;0.204668281;0;12.88666573;0.348288263;0.696576526;13.03178584;0.290240219;0;False;System A 42;20-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;38.57;Termal;219;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.2;20_DB_dic_irdi_006;FEI_HELIOS;37.364;75.6552;2.08333;71.62544869;11.14887002;35.81272435;;20_DB_dic_irdi_006_FE_InvRisol=2.083_d=35.813_l0=71.625.tif;2.0833;71.111;1947;1668;0.3859;41.2803;42.9784;3.7033;7.0444;108;114;569;733;30;51;30;51;909;583;11;4;0;0;1590;1477;3067;14095423.64;0.0001;108.7942;146000;0.360418589;0.20681476;0.393402073;0;46.18520283;2.873272987;5.746545974;52.92497897;1.06417518;0;False;System A 47;21-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;40.69;Termal;290;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;30_DB_dic_irdi_0015;FEI_HELIOS;38.4979;73.0805;3.125;28.39272263;1.365890842;14.19636132;;30_DB_dic_irdi_0015_FE_InvRisol=3.125_d=14.196_l0=28.393.tif;3.125;28.3186;2019;1740;0.1397;535.9408;544.4124;1.7815;2.809;125;130;1069;1135;14;26;14;26;1598;2293;270;323;32;31;3349;4248;7597;34307226.56;0.0001;110.7201;42000;0.130701645;0.250979805;0.395735208;0;32.1215123;0.582967555;1.165935111;56.70816895;17.28498802;0.9181739;False;System A 80;30-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;40.69;Termal;290;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;30_DB_dic_irdi_0017;FEI_HELIOS;40.6808;73;3.125;28.64271013;1.3836591;14.32135506;;30_DB_dic_irdi_0017_FE_InvRisol=3.125_d=14.321_l0=28.643.tif;3.125;28.6353;2019;1740;0.3515;714.1664;714.5641;1.295;1.376;554;462;401;205;30;5;30;5;235;409;2;7;0;0;730;643;1373;34307226.56;2.00E-05;20.0104;42000;0.012937123;0.180848809;0.192160587;0;8.831958464;0.510096611;1.020193222;9.385777641;0.2623354;0;False;System A 82;30-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;40.69;Termal;290;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;30_DB_dic_irdi_0020;FEI_HELIOS;40.6808;73;1.5625;28.94363205;2.20844778;14.47101668;;30_DB_dic_irdi_0020_FE_InvRisol=1.562_d=14.471_l0=28.944.tif;1.5625;28.8288;1987;1708;0.5146;588.9337;571.8481;0.7404;1.0941;241;234;58;62;5;6;5;6;73;48;0;0;0;0;146;128;274;8285634.766;1.65E-05;16.5346;42000;0.198766175;0.102328678;0.151212596;0;7.241448808;0.663799474;1.327598948;7.301794215;0;0;False;System A 84;31-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;34.43;Termal;290;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;31_DB_dic_irdi_001;FEI_HELIOS;37.7063;71.241;3.125;30.66187127;1.132037761;15.33093563;;31_DB_dic_irdi_001_FE_InvRisol=3.125_d=15.331_l0=30.662.tif;3.125;30.26;2016;1737;0.3388;21.5609;21.7956;2.1092;3.41;4;17;2944;1219;36;0;36;0;1789;8619;285;1681;32;252;5510;13981;19491;34197187.5;0.0003;284.9796;42000;0.659650232;0.27515607;0.444852171;0;60.86757866;0.526359076;1.052718151;152.1762572;57.49010792;4.152388263;False;System A 85;31-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;34.43;Termal;290;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;31_DB_dic_irdi_003;FEI_HELIOS;39.3762;71.1;3.125;30.36877712;1.708193798;15.18438856;;31_DB_dic_irdi_003_FE_InvRisol=3.125_d=15.184_l0=30.369.tif;3.125;30.1887;2016;1737;0.5995;289.6687;365.6155;1.9624;3.1015;209;206;2955;1667;50;46;50;46;2721;4029;376;610;51;83;6735;7314;14049;34197187.5;0.0002;205.4116;42000;0.297365617;0.258475999;0.408511675;0;67.57865687;1.403624202;2.807248403;98.69232667;28.83278047;1.959225448;False;System A 86;31-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;31.71;Termal;250;1200;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;4_DB_dic_irdi__004;FEI_HELIOS;34.6713;76.8151;3.125;25.34335654;1.477961838;12.67167827;;4_DB_dic_irdi__004_FE_InvRisol=3.125_d=12.672_l0=25.343.tif;3.125;25.1473;2023;1744;0.3503;400.3406;386.4943;1.1003;1.4552;371;336;1543;263;37;6;37;6;263;1399;8;274;0;65;1933;2428;4361;34454218.75;6.33E-05;63.2869;42000;0.388302613;0.173662869;0.229677548;0;26.20869179;0.624016471;1.248032942;24.11896221;8.18477418;0.943280712;False;System A 120;04-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;31.71;Termal;250;1200;15;Lamellae;Perpendicular;NO;;1.07;4_DB_dic_irdi__005;FEI_HELIOS;34.6713;76.8151;2.08333;25.58999349;1.679420185;12.74648059;;4_DB_dic_irdi__005_FE_InvRisol=2.083_d=12.746_l0=25.590.tif;2.0833;25.3968;2008;1729;0.1162;346.636;288.4974;0.8848;1.1062;369;367;211;101;7;2;7;2;124;186;0;1;0;0;356;295;651;15068667.06;2.16E-05;21.6011;42000;0.37890888;0.138830479;0.173569479;0;10.35260779;0.298632917;0.597265834;10.28624492;0.06636287;0;False;System A 121;04-dic;SiO_2 Termal;100;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;47;Termal;250;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;B42_250c_600s_005;FEI_HELIOS;36.6;74.2;1.562;27.837;;14.766;;B42_250c_600s_005_FE_InvRisol=1.562_d=14.766_l0=27.837.tif;1.5625;27.0042;1996;1717;-0.0957;586.0453;668.5831;1.0332;1.7087;234;232;290;355;22;9;22;9;451;396;40;28;1;1;890;837;1727;8367021.484;0.0001;103.2028;42000;1.518566333;0.139943113;0.231437085;0;38.54418213;1.852511079;3.705022158;50.61538336;8.12714538;0.119516844;False;System A 578;B42;SiO_2 Termal;99,89;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.51;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;47;Termal;250;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;B42_250c_600s_006;FEI_HELIOS;36.6;74.2;3.125;26.592;;13.296;;B42_250c_600s_006_FE_InvRisol=3.125_d=13.296_l0=26.592.tif;3.125;26.4463;999;860;0.5239;642.0698;612.0043;1.2771;1.9758;306;247;616;93;19;6;19;6;80;406;12;133;0;2;777;789;1566;8390039.063;9.33E-05;93.325;42000;0.274707146;0.192102888;0.297202166;0;42.25248504;1.489861955;2.97972391;28.9629164;17.28239868;0.119188956;False;System A 579;B42;SiO_2 Termal;99,89;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.51;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;47;Termal;250;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;B42_250c_600s_007;FEI_HELIOS;36.6;74.2;3.125;26.498;;13.772;;B42_250c_600s_007_FE_InvRisol=3.125_d=13.772_l0=26.498.tif;3.125;26.4463;999;860;0.5276;668.1438;622.3075;1.132;1.6055;317;294;84;50;7;3;7;3;49;68;2;8;0;0;158;143;301;8390039.063;1.79E-05;17.9379;42000;0.097649794;0.164391519;0.233154226;0;7.985660079;0.595944782;1.191889564;6.972553949;1.191889564;0;False;System A 580;B42;SiO_2 Termal;99,89;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.51;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;47;Termal;250;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;B42_250c_600s_008;FEI_HELIOS;36.6;73.2;3.125;26.915;;13.457;;B42_250c_600s_008_FE_InvRisol=3.125_d=13.457_l0=26.915.tif;3.125;26.6667;999;860;0.5639;632.7158;455.0709;1.1233;1.6204;289;276;147;115;4;3;4;3;99;135;15;13;3;2;297;291;588;8390039.063;3.50E-05;35.0416;42000;0.463404483;0.166946571;0.240826336;0;15.61375329;0.417161347;0.834322695;13.9451079;3.337290779;0.297972391;False;System A 581;B42;SiO_2 Termal;99,89;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.51;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;47;Termal;250;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;B42_250c_600s_009;FEI_HELIOS;35.6;73.2;1.562;26.213;;13.106;;B42_250c_600s_009_FE_InvRisol=1.562_d=13.106_l0=26.213.tif;1.5625;26.0163;1996;1717;0.4979;696.9748;669.7952;0.9269;1.5099;313;313;133;229;12;16;12;16;235;138;15;3;1;0;437;421;858;8367021.484;5.13E-05;51.2727;42000;0.376608532;0.141446666;0.230413551;0;21.63254873;1.673235813;3.346471627;22.28989137;2.151303189;0.059758422;False;System A 582;B42;SiO_2 Termal;99,89;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.51;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;47;Termal;250;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;B42_250c_600s_010;FEI_HELIOS;35.6;73.2;3.125;26.289;;13.144;;B42_250c_600s_010_FE_InvRisol=3.125_d=13.144_l0=26.289.tif;3.125;26.2295;999;860;0.0289;636.1551;418.2718;1.2949;1.9335;244;209;255;107;11;5;11;5;87;233;20;32;2;1;421;422;843;8390039.063;5.02E-05;50.2381;42000;0.113293411;0.197032867;0.294202678;0;21.57320111;0.953511651;1.907023302;19.07023302;6.197825733;0.178783435;False;System A 583;B42;SiO_2 Termal;99,89;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.51;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;47;Termal;250;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;B42_250c_600s_011;FEI_HELIOS;35.6;73.2;3.125;25.908;;12.954;;B42_250c_600s_011_FE_InvRisol=3.125_d=12.954_l0=25.908.tif;3.125;25.8065;2023;1744;0.1579;607.2031;542.0817;1.1223;1.6095;462;390;537;305;29;6;29;6;286;471;26;57;4;2;975;914;1889;34454218.75;2.74E-05;27.4132;42000;0.196269905;0.173274664;0.248494673;0;12.21911323;0.507920383;1.015840767;10.98559229;2.408993819;0.087072066;False;System A 584;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_001;FEI_HELIOS;32.6;70;1.562;27.741;;13.87;;campione10_RIE_001_FE_InvRisol=1.562_d=13.870_l0=27.741.tif;1.5625;27.4678;1996;1717;0.1919;111.1873;105.6888;1.091;1.7917;204;205;887;711;48;30;48;30;818;1000;24;35;1;6;1900;1889;3789;8367021.484;0.0002;226.4247;42000;0.494848647;0.157317952;0.258356164;0;95.49395821;4.661156909;9.322313818;108.640811;7.051493785;0.418308953;False;System A 585;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_002;FEI_HELIOS;32.6;70;3.125;26.338;;13.169;;campione10_RIE_002_FE_InvRisol=3.125_d=13.169_l0=26.338.tif;3.125;26.2295;999;860;0.3668;124.9418;119.0417;1.2595;1.8923;189;164;1635;201;38;11;38;11;176;1359;16;242;0;35;1957;2187;4144;8390039.063;0.0002;246.9595;42000;0.206401294;0.191282558;0.287387045;0;109.415462;2.920129432;5.840258864;91.47752404;30.75075075;2.085806737;False;System A 586;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_003;FEI_HELIOS;32.6;70;1.562;27.585;;13.793;;campione10_RIE_003_FE_InvRisol=1.562_d=13.793_l0=27.585.tif;1.5625;27.5862;1996;1717;0.158;174.6909;157.894;1.0148;1.6636;246;239;427;384;21;18;21;18;377;495;6;15;0;0;879;963;1842;8367021.484;0.0001;110.075;42000;0.002175048;0.147147104;0.241223809;0;48.46408017;2.330578455;4.661156909;52.10934391;2.50985372;0;False;System A 587;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_004;FEI_HELIOS;32.6;70;3.125;26.75;;13.375;;campione10_RIE_004_FE_InvRisol=3.125_d=13.375_l0=26.750.tif;3.125;26.501;2023;1744;0.3459;236.5895;223.8291;1.2706;1.7381;407;361;5168;1007;89;46;89;46;932;4662;100;1137;5;200;6582;8709;15291;34454218.75;0.0002;221.9032;42000;0.467596853;0.189996262;0.259902804;0;89.61166766;1.959121479;3.918242958;81.18018929;35.90271511;2.974962246;False;System A 588;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_006;FEI_HELIOS;36.8459;66.8626;2.083;26.64;;13.32;;campione10_RIE_006_FE_InvRisol=2.083_d=13.320_l0=26.640.tif;2.0833;26.4189;2008;1729;0.3218;211.1867;208.4258;1.0874;1.6022;261;266;1044;513;25;18;25;18;565;1054;34;65;0;3;1752;1760;3512;15068667.06;0.0001;116.5332;42000;0.416706716;0.163273273;0.240570571;0;51.66349465;1.426801715;2.85360343;53.72074364;6.569924176;0.099544306;False;System A 590;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_007;FEI_HELIOS;33.3;69.6;2.083;26.412;;13.206;;campione10_RIE_007_FE_InvRisol=2.083_d=13.206_l0=26.412.tif;2.0833;26.4189;2008;1729;0.2084;214.92;196.9357;1.0403;1.5152;309;345;517;462;20;24;20;24;502;513;18;11;0;0;1115;1069;2184;15068667.06;7.25E-05;72.4683;42000;0.013060538;0.157549599;0.229471452;0;32.48462509;1.45998315;2.9199663;33.67915676;1.924523243;0;False;System A 591;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_008;FEI_HELIOS;33.3;69.6;2.083;27.05;;13.525;;campione10_RIE_008_FE_InvRisol=2.083_d=13.525_l0=27.050.tif;2.0833;26.7502;2008;1729;0.214;235.1476;197.3086;1.0528;1.5105;261;287;529;451;10;12;10;12;512;514;20;13;0;0;1111;1027;2138;15068667.06;7.09E-05;70.9419;42000;0.557246999;0.15568207;0.22336414;0;32.51780653;0.729991575;1.45998315;34.04415255;2.189974725;0;False;System A 592;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_009;FEI_HELIOS;33.3;69.6;2.083;26.429;;13.215;;campione10_RIE_009_FE_InvRisol=2.083_d=13.215_l0=26.429.tif;2.0833;26.4189;2008;1729;0.1714;206.3509;184.6167;1.0411;1.5286;296;323;728;475;20;22;20;22;516;705;17;29;0;1;1338;1307;2645;15068667.06;8.78E-05;87.7649;42000;0.01911145;0.157563375;0.231343171;0;39.91726658;1.39362028;2.787240559;40.51453242;3.052692041;0.033181435;False;System A 593;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_010;FEI_HELIOS;33.3;69.6;1.562;26.522;;13.261;;campione10_RIE_010_FE_InvRisol=1.562_d=13.261_l0=26.522.tif;1.5625;26.556;1996;1717;0.411;235.0037;235.0416;0.8792;1.355;266;264;248;229;16;13;16;13;234;243;4;5;0;0;538;521;1059;8367021.484;6.33E-05;63.2842;42000;0.064056671;0.132599351;0.204358646;0;28.50476725;1.732994235;3.465988471;28.50476725;1.075651594;0;False;System A 594;10;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;27.53;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione10_RIE_011;FEI_HELIOS;33.3;69.6;1.562;26.636;;13.318;;campione10_RIE_011_FE_InvRisol=1.562_d=13.318_l0=26.636.tif;1.5625;26.4463;1996;1717;0.098;179.0295;177.4189;1.0597;1.6715;210;211;603;411;51;32;51;32;469;722;9;33;0;2;1243;1301;2544;8367021.484;0.0002;152.0254;42000;0.357369594;0.159138009;0.251013666;0;60.59503982;4.959949019;9.919898037;71.1722805;5.01970744;0.119516844;False;System A 595;11;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;29.34;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione11_RIE_003;FEI_HELIOS;36.1;73;6.25;74.124;;36.62;;campione11_RIE_003_FE_InvRisol=6.250_d=36.620_l0=74.124.tif;6.25;72.7273;2012;1733;0.4683;111.3021;111.0217;3.6733;5.7248;341;318;5870;2598;94;57;94;57;2753;5513;33;340;0;11;8971;8995;17966;136202968.8;6.60E-05;65.953;146000;0.951098152;0.200617149;0.312659749;0;31.08595972;0.554319782;1.108639565;30.34441935;2.738559985;0.040380911;False;System A 596;11;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;29.34;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione11_RIE_004;FEI_HELIOS;36.1;73;6.25;73.743;;36.872;;campione11_RIE_004_FE_InvRisol=6.250_d=36.872_l0=73.743.tif;6.25;71.9101;2012;1733;0.4752;119.5309;114.3851;3.6922;5.796;357;290;5904;2557;102;39;102;39;2730;5484;23;370;1;9;8989;8925;17914;136202968.8;6.58E-05;65.7621;146000;1.258400954;0.200271209;0.314384899;0;31.06026277;0.517609863;1.035219726;30.15352777;2.885399662;0.036709919;False;System A 597;11;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;29.34;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione11_RIE_008;FEI_HELIOS;36.1;73;4.167;74.167;;36.727;;campione11_RIE_008_FE_InvRisol=4.167_d=36.727_l0=74.167.tif;4.1667;72.3164;1996;1717;0.4272;77.2694;80.6114;3.4467;5.8333;215;202;2268;1857;50;80;50;80;1903;2378;16;74;0;3;4353;4632;8985;59498914.64;7.55E-05;75.5056;146000;1.263351342;0.187692978;0.317657309;0;34.66449787;1.092456903;2.184913805;35.97544615;1.512632634;0.025210544;False;System A 598;11;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;29.34;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione11_RIE_009;FEI_HELIOS;36.1;73;4.167;73.058;;36.745;;campione11_RIE_009_FE_InvRisol=4.167_d=36.745_l0=73.058.tif;4.1667;72.3164;1996;1717;0.4311;72.3676;73.5828;3.4977;6.0244;221;215;2398;1722;78;62;78;62;1705;2485;18;83;0;0;4373;4559;8932;59498914.64;7.51E-05;75.0602;146000;0.510131082;0.190376922;0.327903116;0;34.6224803;1.176492049;2.352984098;35.21072632;1.697509956;0;False;System A 599;12;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.14;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;29.52;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione12_RIE_007;FEI_HELIOS;34.7;66.7;3.125;66.817;;33.409;;campione12_RIE_007_FE_InvRisol=3.125_d=33.409_l0=66.817.tif;3.125;65.641;1987;1708;0.4183;70.2387;68.7005;2.966;4.9755;152;156;1548;1020;47;55;47;55;1034;1880;19;23;0;0;2761;3111;5872;33142539.06;8.86E-05;88.5871;160000;0.887828595;0.177556946;0.297853872;0;38.74175112;1.538807872;3.077615744;43.96162881;1.267253541;0;False;System A 600;12;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.14;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;29.52;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione12_RIE_008;FEI_HELIOS;34.7;66.7;4.167;65.537;;32.769;;campione12_RIE_008_FE_InvRisol=4.167_d=32.769_l0=65.537.tif;4.1667;65.8945;2004;1725;0.4162;75.9464;72.5709;3.0043;4.9184;205;196;2856;1645;75;67;75;67;1748;3321;51;137;1;4;4934;5453;10387;60015721.03;8.65E-05;86.5357;160000;0.272004809;0.183362324;0.300186152;0;37.49850808;1.183023361;2.366046722;42.23060153;3.132512562;0.041655752;False;System A 601;12;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.14;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;29.52;Termal;210;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione12_RIE_009;FEI_HELIOS;34.7;66.7;4.167;65.359;;32.679;;campione12_RIE_009_FE_InvRisol=4.167_d=32.679_l0=65.359.tif;4.1667;67.4572;1996;1717;0.4035;78.1615;78.1073;2.9158;4.815;251;229;2669;1588;54;69;54;69;1703;2854;47;56;1;1;4631;4764;9395;59498914.64;7.90E-05;78.951;160000;1.579777166;0.178450993;0.29468466;0;35.7737618;1.0336323;2.0672646;38.29481619;1.731124015;0.016807029;False;System A 602;13;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.08;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.61;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione13_RIE_003;FEI_HELIOS;36.7;69.9;2.083;26.19;;13.095;;campione13_RIE_003_FE_InvRisol=2.083_d=13.095_l0=26.190.tif;2.0833;25.7804;2008;1729;0.3796;181.6175;179.1415;1.1599;1.8369;277;254;2746;830;50;44;50;44;926;3428;70;386;3;40;3971;5284;9255;15068667.06;0.0003;307.0942;42000;0.788140942;0.177151585;0.280549828;0;118.6568124;3.119054912;6.238109823;144.471969;30.26146893;1.426801715;False;System A 604;13;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.08;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.61;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione13_RIE_004;FEI_HELIOS;36.7;69.9;2.083;26.228;;13.114;;campione13_RIE_004_FE_InvRisol=2.083_d=13.114_l0=26.228.tif;2.0833;25.9371;2008;1729;0.4225;186.5671;177.5169;1.1366;1.7686;301;307;1880;538;24;37;24;37;554;2167;26;179;1;15;2561;3220;5781;15068667.06;0.0002;191.8219;42000;0.55765253;0.173341467;0.269727009;0;80.23271039;2.024067549;4.048135098;90.28668526;13.60438844;0.530902964;False;System A 605;13;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.08;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.61;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione13_RIE_005;FEI_HELIOS;36.7;69.9;3.125;25.822;;12.911;;campione13_RIE_005_FE_InvRisol=3.125_d=12.911_l0=25.822.tif;3.125;25.8586;2023;1744;0.2843;204.2005;191.4679;1.2358;1.8909;465;395;5555;496;54;24;54;24;480;4400;25;859;2;123;6253;7065;13318;34454218.75;0.0002;193.271;42000;0.070819611;0.191433661;0.29291302;0;87.8121783;1.131936855;2.263873709;70.81861347;25.65723537;1.81400137;False;System A 606;13;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.08;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.61;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione13_RIE_007;FEI_HELIOS;36.7;69.9;1.25;26;;13;;campione13_RIE_007_FE_InvRisol=1.250_d=13.000_l0=26.000.tif;1.25;25.9898;1987;1708;0.4341;187.3471;183.1365;0.9317;1.5636;184;178;745;509;40;16;40;16;571;938;14;59;0;1;1464;1616;3080;5302806.25;0.0003;290.4123;42000;0.019619233;0.143338462;0.240553846;0;118.2392813;5.280223089;10.56044618;142.2831543;13.76629591;0.094289698;False;System A 607;13;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.08;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.61;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione13_RIE_009;FEI_HELIOS;36.7;69.9;1.562;26.195;;13.098;;campione13_RIE_009_FE_InvRisol=1.562_d=13.098_l0=26.195.tif;1.5625;25.8065;1996;1717;0.4133;159.635;159.414;1.0541;1.7311;216;203;1422;573;34;31;34;31;595;1739;37;118;1;13;2196;2680;4876;8367021.484;0.0003;291.3821;42000;0.747093834;0.160955871;0.264330432;0;119.2180517;3.884297424;7.768594848;139.4761567;18.52511079;0.836617907;False;System A 608;14;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.58;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;32.79;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione14_RIE_005;FEI_HELIOS;36.7;69.9;3.125;72.118;;36.059;;campione14_RIE_005_FE_InvRisol=3.125_d=36.059_l0=72.118.tif;3.125;70.7182;1971;1692;0.395;56.1318;63.145;2.7768;4.7243;157;153;665;1391;26;57;26;57;1470;668;2;2;0;0;2217;2234;4451;32567695.31;6.83E-05;68.3346;146000;0.980003669;0.154014254;0.26203167;0;31.56502142;1.274268861;2.548537721;32.82393764;0.122821095;0;False;System A 609;14;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.58;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;32.79;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione14_RIE_006;FEI_HELIOS;36.7;69.9;3.125;72.279;;36.139;;campione14_RIE_006_FE_InvRisol=3.125_d=36.139_l0=72.279.tif;3.125;71.5084;1987;1708;0.3851;56.0243;62.5473;2.6434;4.4597;173;153;673;1393;22;70;22;70;1546;624;1;4;0;0;2287;2235;4522;33142539.06;6.82E-05;68.2205;146000;0.53593013;0.146290711;0.246808157;0;31.16840258;1.387944355;2.77588871;32.73738315;0.150863517;0;False;System A 610;14;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.58;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;32.79;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione14_RIE_007;FEI_HELIOS;36.7;69.9;4.167;70.969;;35.484;;campione14_RIE_007_FE_InvRisol=4.167_d=35.484_l0=70.969.tif;4.1667;68.8173;1996;1717;0.4371;85.8945;89.3572;2.8392;4.565;234;234;1584;1884;42;55;42;55;1978;1546;10;37;0;0;3708;3669;7377;59498914.64;6.20E-05;61.9927;146000;1.53927817;0.160027054;0.257299064;0;29.14338876;0.81514092;1.630281839;29.61398558;0.789930376;0;False;System A 611;14;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.58;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;32.79;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione14_RIE_008;FEI_HELIOS;36.7;69.9;4.167;71.025;;35.512;;campione14_RIE_008_FE_InvRisol=4.167_d=35.512_l0=71.025.tif;4.1667;69.9454;1996;1717;0.4446;77.7718;81.4679;2.8633;4.5298;235;214;1597;1868;44;55;44;55;1974;1536;10;26;0;0;3723;3621;7344;59498914.64;6.17E-05;61.7154;146000;0.76583453;0.161258166;0.255113764;0;29.11817821;0.831947949;1.663895898;29.49633637;0.605053054;0;False;System A 612;14;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.58;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;32.79;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione14_RIE_009;FEI_HELIOS;36.7;69.9;6.25;70.352;;35.176;;campione14_RIE_009_FE_InvRisol=6.250_d=35.176_l0=70.352.tif;6.25;69.3767;2012;1733;0.5182;134.7028;139.525;3.356;5.0184;359;323;5273;2523;88;62;88;62;2658;4783;18;340;0;9;8231;8199;16430;136202968.8;6.03E-05;60.3144;146000;0.697995473;0.190811917;0.285330907;0;28.61905314;0.55064879;1.101297581;27.315851;2.628430226;0.033038927;False;System A 613;14;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.58;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;32.79;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione14_RIE_010;FEI_HELIOS;36.7;69.9;6.25;72.298;;36.149;;campione14_RIE_010_FE_InvRisol=6.250_d=36.149_l0=72.298.tif;6.25;71.1111;2012;1733;0.5173;133.6506;136.1979;3.3582;5.0107;357;321;5088;2596;85;61;85;61;2739;4640;18;313;0;4;8118;8057;16175;136202968.8;5.94E-05;59.3783;146000;0.827632277;0.185797671;0.277224819;0;28.20790204;0.535964823;1.071929645;27.0882495;2.430196662;0.014683968;False;System A 614;15;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.3;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.27;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione15_RIE_002;FEI_HELIOS;28.7;70.9;6.25;70.848;;35.424;;campione15_RIE_002_FE_InvRisol=6.250_d=35.424_l0=70.848.tif;6.25;68.8172;988;849;0.3513;112.7455;98.2293;3.3435;4.967;183;172;1064;687;40;32;40;32;725;959;17;58;0;2;1943;1864;3807;32766093.75;5.81E-05;58.0936;160000;1.454048682;0.188770325;0.280431346;0;26.71969404;1.098696728;2.197393456;25.6972957;2.288951517;0.030519354;False;System A 615;15;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.3;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.27;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione15_RIE_006;FEI_HELIOS;28.7;70.9;6.25;69.651;;34.826;;campione15_RIE_006_FE_InvRisol=6.250_d=34.826_l0=69.651.tif;6.25;69.0027;2012;1733;0.4079;111.7191;104.7321;3.3618;5.073;369;319;4986;3018;43;124;43;124;3134;4547;69;343;3;18;8396;8677;17073;136202968.8;6.27E-05;62.6748;160000;0.467567761;0.193062654;0.291334061;0;29.38261946;0.613055653;1.226111307;28.19688906;3.024897356;0.077090831;False;System A 616;15;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;4.3;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.27;Termal;230;900;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione15_RIE_008;FEI_HELIOS;28.7;70.9;4.167;68.708;;34.441;;campione15_RIE_008_FE_InvRisol=4.167_d=34.441_l0=68.708.tif;4.1667;68.8173;1996;1717;0.409;73.7502;76.3792;3.2271;5.4556;203;191;2199;1713;42;108;42;108;1952;2448;47;131;4;8;4383;4771;9154;59498914.64;7.69E-05;76.9258;160000;0.079476285;0.18739874;0.316808455;0;32.87454925;1.260527195;2.521054391;36.9754644;2.99165121;0.100842176;False;System A 618;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_001;FEI_HELIOS;30.3;72.1;2.083;25.757;;12.878;;campione1_RIE_001_FE_InvRisol=2.083_d=12.878_l0=25.757.tif;2.0833;25.3968;984;845;0.4802;252.6233;244.272;1.2051;1.959;157;137;291;276;22;26;22;26;325;326;34;17;1;1;753;717;1470;3608842.618;0.0002;203.6664;42000;0.704151011;0.187156391;0.304239789;0;78.55704168;6.650331571;13.30066314;90.19512193;14.13195459;0.277097149;False;System A 619;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_003;FEI_HELIOS;30.3;72.1;4.167;25.302;;12.651;;campione1_RIE_003_FE_InvRisol=4.167_d=12.651_l0=25.302.tif;4.1667;25.2466;1004;865;0.3704;331.376;290.1275;1.4551;2.0351;297;230;4481;227;46;13;46;13;179;2314;33;1146;4;359;4878;6047;10925;15077454.68;0.0004;362.2959;42000;0.109597496;0.230037151;0.321729508;0;156.1271481;1.956563666;3.913127332;82.67310541;78.19622244;12.03784086;False;System A 620;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_005;FEI_HELIOS;28.8;71.7;2.083;25.682;;12.841;;campione1_RIE_005_FE_InvRisol=2.083_d=12.841_l0=25.682.tif;2.0833;25.2465;984;845;0.4182;258.3157;249.5691;1.1618;1.8319;123;118;319;145;14;19;14;19;235;383;25;36;5;2;661;663;1324;3608842.618;0.0002;183.4383;42000;0.855120414;0.180951639;0.285320458;0;64.28653852;4.572102955;9.14420591;85.62301898;16.90292608;0.969840021;False;System A 621;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_006;FEI_HELIOS;28.8;71.7;3.125;25.837;;12.918;;campione1_RIE_006_FE_InvRisol=3.125_d=12.918_l0=25.837.tif;3.125;25.2964;999;860;0.2607;269.1774;207.6436;1.2048;1.8052;230;213;987;105;21;11;21;11;91;759;11;185;0;13;1163;1308;2471;8390039.063;0.0001;147.258;42000;1.057234606;0.186530423;0.279485989;0;65.07717019;1.907023302;3.814046605;50.65530647;23.36103545;0.774728217;False;System A 622;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_007;FEI_HELIOS;28.8;71.7;3.125;25.841;;12.92;;campione1_RIE_007_FE_InvRisol=3.125_d=12.920_l0=25.841.tif;3.125;25.3968;999;860;0.0482;298.3522;257.0039;1.1731;1.7011;254;234;748;107;18;21;18;21;77;574;17;122;1;3;916;997;1913;8390039.063;0.0001;114.0042;42000;0.866938081;0.181594427;0.263328173;0;50.95327886;2.32418465;4.6483693;38.79600531;16.56726494;0.238377913;False;System A 623;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_008;FEI_HELIOS;29.5678;71.7;3.125;25.449;;12.724;;campione1_RIE_008_FE_InvRisol=3.125_d=12.724_l0=25.449.tif;3.125;25.3968;999;860;0.1261;277.2846;229.6887;1.1587;1.6885;219;194;571;55;12;3;12;3;54;492;1;59;0;6;663;693;1356;8390039.063;8.08E-05;80.8101;42000;0.102663347;0.182128262;0.265403961;0;37.30614335;0.893917173;1.787834346;32.5385851;7.151337384;0.357566869;False;System A 624;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_009;FEI_HELIOS;29.5678;71.7;1.562;25.851;;12.925;;campione1_RIE_009_FE_InvRisol=1.562_d=12.925_l0=25.851.tif;1.5625;25.498;1996;1717;0.4138;353.185;295.3804;0.9503;1.5166;288;291;344;308;16;14;16;14;350;373;4;10;0;0;750;743;1493;8367021.484;8.92E-05;89.2193;42000;0.687452531;0.147048356;0.234676983;0;38.96249109;1.792752657;3.585505315;43.20533904;1.673235813;0;False;System A 625;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_011;FEI_HELIOS;29.5678;71.7;1.562;25.73;;12.865;;campione1_RIE_011_FE_InvRisol=1.562_d=12.865_l0=25.730.tif;1.5625;25.498;1996;1717;0.5466;426.6073;487.6991;0.8436;1.2875;306;296;242;150;16;14;16;14;156;228;3;5;0;0;452;430;882;8367021.484;5.27E-05;52.7069;42000;0.452877333;0.131146522;0.200155461;0;23.42530139;1.792752657;3.585505315;22.94723401;0.956134751;0;False;System A 626;1;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;25.16;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione1_RIE_014;FEI_HELIOS;31.1845;72.5386;2.083;25.737;;12.868;;campione1_RIE_014_FE_InvRisol=2.083_d=12.868_l0=25.737.tif;2.0833;25.3968;984;845;0.1998;262.4982;237.398;0.9903;1.445;186;158;99;71;3;5;3;5;65;109;3;1;0;0;179;197;376;3608842.618;5.21E-05;52.0943;42000;0.665313354;0.153916693;0.224588126;0;23.55325765;1.108388595;2.21677719;24.10745195;1.108388595;0;False;System A 627;2;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;2.05;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;39.36;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione2_RIE_007;FEI_HELIOS;30.1894;73.7966;3.125;71.641;;35.82;;campione2_RIE_007_FE_InvRisol=3.125_d=35.820_l0=71.641.tif;3.125;70.7182;1971;1692;0.4363;84.9973;84.9163;3.1472;5.6439;160;152;876;1194;30;62;30;62;1428;864;14;28;0;0;2422;2300;4722;32567695.31;7.25E-05;72.4952;146000;0.648219434;0.17572306;0.315125628;0;31.77995833;1.412442593;2.824885185;35.18824372;1.289621498;0;False;System A 628;3;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;3.2;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.6;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione3_RIE_001;FEI_HELIOS;30.6893;74.2587;6.25;66.857;;33.428;;campione3_RIE_001_FE_InvRisol=6.250_d=33.428_l0=66.857.tif;6.25;66.3212;988;849;0.3667;213.6909;197.0174;3.4892;5.5059;173;170;1036;269;20;11;20;11;259;1102;16;155;1;29;1391;1803;3194;32766093.75;4.87E-05;48.7394;160000;0.402318097;0.208759124;0.329418452;0;19.9138782;0.47304998;0.94609996;20.7684201;5.218809459;0.457790303;False;System A 629;3;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;3.2;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.6;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione3_RIE_002;FEI_HELIOS;31.7751;74.4935;3.125;69.093;;34.547;;campione3_RIE_002_FE_InvRisol=3.125_d=34.547_l0=69.093.tif;3.125;67.7249;1987;1708;0.3671;170.6549;164.6451;3.158;5.6307;149;163;900;434;61;18;61;18;539;1236;23;91;0;3;1668;1915;3583;33142539.06;5.41E-05;54.0544;160000;0.999942259;0.1828234;0.325973312;0;20.12519315;1.191821783;2.383643566;26.77827424;3.439688184;0.045259055;False;System A 630;3;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;3.2;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.6;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione3_RIE_007;FEI_HELIOS;27.2;73.1;2.083;65.955;;32.977;;campione3_RIE_007_FE_InvRisol=2.083_d=32.977_l0=65.955.tif;2.0833;66.1498;1947;1668;0.3951;118.5515;118.3901;2.5574;4.6032;112;112;365;304;17;29;17;29;359;444;6;11;0;0;787;857;1644;14095423.64;5.83E-05;58.3168;160000;0.147458684;0.155102041;0.279176396;0;23.73110652;1.631735277;3.263470553;28.48442233;1.206065204;0;False;System A 632;3;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;3.2;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.6;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione3_RIE_010;FEI_HELIOS;26.2;72.1;4.167;65.381;;32.69;;campione3_RIE_010_FE_InvRisol=4.167_d=32.690_l0=65.381.tif;4.1667;65.14;980;841;0.4412;91.0072;90.8113;2.604;4.1786;105;102;590;366;45;28;45;28;427;668;10;29;2;4;1178;1188;2366;14308703.45;8.27E-05;82.677;160000;0.184644617;0.159314775;0.255650046;0;33.40624129;2.550894994;5.101789988;38.26342491;2.725613829;0.209662602;False;System A 633;3;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;3.2;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.6;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione3_RIE_012;FEI_HELIOS;26.2;72.1;4.167;65.188;;32.594;;campione3_RIE_012_FE_InvRisol=4.167_d=32.594_l0=65.188.tif;4.1667;64.8923;2004;1725;0.4337;94.4091;93.2082;2.684;4.3161;234;235;2230;1476;64;57;64;57;1550;2497;34;109;2;8;4046;4386;8432;60015721.03;7.03E-05;70.2483;160000;0.227321124;0.164692888;0.264840155;0;30.87524349;1.008069202;2.016138404;33.71616579;2.382709023;0.083311504;False;System A 634;3;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;3.2;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.6;Termal;270;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;campione3_RIE_013;FEI_HELIOS;26.2;72.1;4.167;65.898;;32.949;;campione3_RIE_013_FE_InvRisol=4.167_d=32.949_l0=65.898.tif;4.1667;66.4073;1996;955;0.4244;98.6466;94.9543;2.8546;4.5542;133;118;1079;883;47;49;47;49;1039;1327;62;106;3;7;2392;2591;4983;33093455.73;7.53E-05;75.2868;160000;0.384943007;0.173273847;0.276439346;0;29.64332308;1.450437827;2.900875653;35.74724894;5.076532393;0.151087274;False;System A 635;4;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.17;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;32.34;Termal;270;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione4_RIE_003;FEI_HELIOS;31.1101;71.5749;6.25;26.641;;13.266;;campione4_RIE_003_FE_InvRisol=6.250_d=13.266_l0=26.641.tif;6.25;35.3591;1008;869;;;;;;2;6;11;269;0;1;0;1;179;3;38;3;13;0;308;281;589;34216875;8.61E-06;8.6069;42000;14.06142893;;;0;4.091548395;0.014612673;0.029225346;2.659506457;1.198239173;0.189964747;True;System A 636;4;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.17;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;32.34;Termal;270;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione4_RIE_004;FEI_HELIOS;31.1101;71.5749;3.125;25.858;;12.929;;campione4_RIE_004_FE_InvRisol=3.125_d=12.929_l0=25.858.tif;3.125;25.6513;2023;1744;0.5694;247.8615;283.4089;1.5461;2.3083;148;112;4847;2116;79;35;79;35;1852;7061;460;1768;75;304;8091;13781;21872;34454218.75;0.0003;317.4067;42000;0.401286758;0.239167762;0.357073246;0;101.0471323;1.654369249;3.308738498;129.3455537;64.66552082;5.500052153;False;System A 637;4;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.17;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;32.34;Termal;270;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione4_RIE_005;FEI_HELIOS;31.1101;71.5749;3.125;25.631;;12.816;;campione4_RIE_005_FE_InvRisol=3.125_d=12.816_l0=25.631.tif;3.125;25.6513;2023;1744;0.4386;57.8703;71.8187;1.5662;2.3945;167;151;5734;1939;80;34;80;34;2391;8226;501;2029;63;363;9563;15465;25028;34454218.75;0.0004;363.2066;42000;0.039584808;0.244413233;0.373673533;0;111.3506601;1.654369249;3.308738498;154.0740203;73.43077544;6.182116667;False;System A 638;4;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.17;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;32.34;Termal;270;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione4_RIE_006;FEI_HELIOS;31.1101;71.5749;1.562;26.217;;13.108;;campione4_RIE_006_FE_InvRisol=1.562_d=13.108_l0=26.217.tif;1.5625;25.6;1996;1717;0.3699;109.9263;123.9745;1.2259;2.0269;154;158;1976;1396;49;63;49;63;1811;2720;103;185;3;12;4149;4711;8860;8367021.484;0.0005;529.4596;42000;1.190728911;0.187046079;0.30926152;0;201.5053987;6.692943254;13.38588651;270.7654097;34.42085102;0.896376329;False;System A 639;4;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.17;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;32.34;Termal;270;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione4_RIE_007;FEI_HELIOS;31.1101;71.5749;1.562;25.497;;12.748;;campione4_RIE_007_FE_InvRisol=1.562_d=12.748_l0=25.497.tif;1.5625;25.098;1996;1717;0.5628;293.6931;311.7692;1.0515;1.7112;181;175;1322;930;65;30;65;30;1044;1732;48;101;3;7;2666;2975;5641;8367021.484;0.0003;337.0973;42000;0.788615476;0.164967054;0.268465642;0;134.5759661;5.677050082;11.35410016;165.8893792;17.80800973;0.597584219;False;System A 640;4;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.17;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;32.34;Termal;270;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione4_RIE_008;FEI_HELIOS;31.1101;71.5749;1.562;25.906;;12.953;;campione4_RIE_008_FE_InvRisol=1.562_d=12.953_l0=25.906.tif;1.5625;25.498;1996;1717;0.347;168.9339;178.0756;1.0831;1.7847;256;246;1743;1087;52;49;52;49;1243;2080;53;165;0;10;3248;3675;6923;8367021.484;0.0004;413.7076;42000;0.793712552;0.167235389;0.275565506;0;169.116334;6.035600613;12.07120123;198.577236;26.05467195;0.597584219;False;System A 641;4;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.17;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;36.48;Termal;270;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione5_RIE_003;FEI_HELIOS;31.7981;73.0863;6.25;70.343;;35.171;;campione5_RIE_003_FE_InvRisol=6.250_d=35.171_l0=70.343.tif;6.25;69.7548;2012;1733;0.3785;122.8479;114.3703;3.1762;4.6266;335;293;3695;2657;84;38;84;38;2854;3461;15;178;0;5;6831;6603;13434;136202968.8;4.93E-05;49.3161;146000;0.419849562;0.180614711;0.263091752;0;23.31814078;0.447861016;0.895722032;23.18231408;1.417002887;0.01835496;False;System A 643;5;SiO_2 Termal;101.87;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;3.61;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;36.48;Termal;270;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione5_RIE_004;FEI_HELIOS;31.7981;73.0863;3.125;70.44;;35.22;;campione5_RIE_004_FE_InvRisol=3.125_d=35.220_l0=70.440.tif;3.125;69.9454;1987;1708;0.3452;56.4955;71.5371;2.206;3.4853;151;158;376;1232;19;54;19;54;1339;360;2;1;0;0;1776;1756;3532;33142539.06;5.33E-05;53.285;146000;0.352315839;0.125269733;0.197915957;0;24.25885351;1.101303673;2.202607346;25.63171151;0.09051811;0;False;System A 644;7;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;30.08;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione7_RIE_006;FEI_HELIOS;35.6534;68.7707;1.562;26.27;;13.135;;campione7_RIE_006_FE_InvRisol=1.562_d=13.135_l0=26.270.tif;1.5625;25.7028;1996;1717;0.494;197.3401;216.9827;1.0975;1.845;175;161;1503;1130;56;55;56;55;1361;2421;83;217;3;15;3207;4196;7403;8367021.484;0.0004;442.3916;42000;1.091340086;0.167110773;0.280928816;0;157.3439249;6.633184832;13.26636966;226.0063517;35.85505315;1.075651594;False;System A 647;7;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;30.08;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione7_RIE_008;FEI_HELIOS;35.6534;68.7707;1.562;26.247;;13.123;;campione7_RIE_008_FE_InvRisol=1.562_d=13.123_l0=26.247.tif;1.5625;25.498;1996;1717;0.1593;180.9232;176.3184;1.0499;1.7521;203;211;1701;965;46;30;46;30;1161;2125;55;178;4;7;3123;3557;6680;8367021.484;0.0004;399.1863;42000;1.447482849;0.160009144;0.267027357;0;159.3159528;4.541640065;9.08328013;196.3661744;27.84742461;0.657342641;False;System A 648;7;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;30.08;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione7_RIE_009;FEI_HELIOS;35.6534;68.7707;1.562;25.95;;12.975;;campione7_RIE_009_FE_InvRisol=1.562_d=12.975_l0=25.950.tif;1.5625;25.3968;1996;1717;0.3901;203.0056;207.9101;1.0475;1.7112;239;242;1288;1110;38;45;38;45;1259;1378;44;51;2;2;2755;2731;5486;8367021.484;0.0003;327.8347;42000;1.0773797;0.161464355;0.263768786;0;143.3006957;4.959949019;9.919898037;157.5829586;11.35410016;0.239033688;False;System A 649;7;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;30.08;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione7_RIE_010;FEI_HELIOS;35.6534;68.7707;1.562;25.617;;12.808;;campione7_RIE_010_FE_InvRisol=1.562_d=12.808_l0=25.617.tif;1.5625;25.3968;1996;1717;0.3937;163.1904;161.7258;1.0789;1.8207;241;246;1637;1009;41;39;41;39;1115;1881;41;106;1;6;2960;3237;6197;8367021.484;0.0004;370.3229;42000;0.431647907;0.168472829;0.284306683;0;158.1207844;4.780673753;9.561347506;179.036232;17.56897604;0.418308953;False;System A 650;7;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;30.08;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione7_RIE_011;FEI_HELIOS;35.7;67.8;1.562;25.593;;12.797;;campione7_RIE_011_FE_InvRisol=1.562_d=12.797_l0=25.593.tif;1.5625;25.2964;1996;1717;0.5228;245.5643;253.1531;1.0527;1.7313;223;206;1049;994;21;56;21;56;1130;1122;58;55;4;4;2370;2406;4776;8367021.484;0.0003;285.4062;42000;0.582832574;0.164522935;0.270579042;0;122.086456;4.601398487;9.202796974;134.5759661;13.50540335;0.478067375;False;System A 651;7;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.32;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;30.08;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;campione7_RIE_012;FEI_HELIOS;35.7;67.8;1.562;25.617;;12.808;;campione7_RIE_012_FE_InvRisol=1.562_d=12.808_l0=25.617.tif;1.5625;25.2964;1996;1717;0.4257;192.0515;180.909;1.0389;1.7081;204;192;1047;923;32;52;32;52;1109;1134;58;63;3;1;2378;2342;4720;8367021.484;0.0003;282.0598;42000;0.629696701;0.162226733;0.266723923;0;117.7240912;5.01970744;10.03941488;134.0381403;14.4615381;0.239033688;False;System A 652;8;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.01;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;34.96;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione8_RIE_001;FEI_HELIOS;36.5154;71.3254;6.25;71.762;;35.881;;campione8_RIE_001_FE_InvRisol=6.250_d=35.881_l0=71.762.tif;6.25;69.5652;988;849;0.376;114.959;107.0841;3.1673;4.4958;190;159;871;752;36;35;36;35;817;793;2;41;0;0;1800;1732;3532;32766093.75;5.39E-05;53.8972;146000;1.554407078;0.176544689;0.250595022;0;24.76645542;1.083437051;2.166874103;24.56807962;1.312332203;0;False;System A 653;8;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.01;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;34.96;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione8_RIE_002;FEI_HELIOS;36.5154;71.3254;3.125;71.674;;35.837;;campione8_RIE_002_FE_InvRisol=3.125_d=35.837_l0=71.674.tif;3.125;69.9454;1971;1692;0.3219;55.8118;67.9809;;;162;150;230;1536;11;64;11;64;1688;158;6;1;0;0;1963;1888;3851;32567695.31;5.91E-05;59.123;146000;1.220595483;;;0;27.11275672;1.151447766;2.302895531;28.34096767;0.214936916;0;False;System A 654;8;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.01;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;34.96;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione8_RIE_003;FEI_HELIOS;36.5154;71.3254;3.125;71.609;;35.804;;campione8_RIE_003_FE_InvRisol=3.125_d=35.804_l0=71.609.tif;3.125;69.9454;1987;1708;0.3005;62.9527;63.9146;2.2685;3.6969;167;152;310;1442;10;82;10;82;1713;176;1;0;0;0;2055;1864;3919;33142539.06;5.91E-05;59.1234;146000;1.175237223;0.126717685;0.206507653;0;26.43128815;1.387944355;2.77588871;28.49811833;0.030172703;0;False;System A 655;8;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.01;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;34.96;Termal;270;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;campione8_RIE_004;FEI_HELIOS;36.5154;71.3254;6.25;69.57;;34.785;;campione8_RIE_004_FE_InvRisol=6.250_d=34.785_l0=69.570.tif;6.25;69.0027;2012;1733;0.3817;116.496;107.3365;3.2092;4.6693;361;346;3860;3242;55;83;55;83;3441;3502;17;205;0;8;7500;7427;14927;136202968.8;5.48E-05;54.7969;146000;0.409387996;0.184516315;0.268466293;0;26.07138473;0.506596887;1.013193774;25.48769701;1.62992042;0.029367935;False;System A 656;8;SiO_2 Termal;99.64;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.01;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;34.38;Termal;210;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;C_6_16;FEI_HELIOS;31.4;78;4.167;38.025;;19.013;;C_6_16_FE_InvRisol=4.167_d=19.013_l0=38.025.tif;4.1667;37.926;995;855;0.1453;133.7961;120.3174;1.771;2.0634;234;212;331;145;12;12;12;12;157;299;3;8;0;0;530;496;1026;14769554.88;3.47E-05;34.7336;66000;0.130347198;0.186293589;0.217051491;0;16.11422971;0.81248217;1.62496434;15.43716123;0.744775323;0;False;System B 674;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;6.49;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;37.21;Thermal;210;600;15;;;;;1.09;C_7_17;FEI_HELIOS;31.4;78;8.333;37.377;;18.688;;C_7_17_FE_InvRisol=8.333_d=18.688_l0=37.377.tif;8.3333;47.5394;1008;868;;;;;;15;14;8;36;5;7;5;7;55;2;0;0;0;1;78;63;141;60759951.39;1.16E-06;1.1603;66000;11.96753513;;;0;0.362080606;0.098749256;0.197498512;0.469058966;0;0.008229105;True;System B 675;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;6.49;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;37.21;Thermal;210;600;15;;;;;1.09;C_7_18;FEI_HELIOS;31.4;78;4.167;37.733;;18.866;;C_7_18_FE_InvRisol=4.167_d=18.866_l0=37.733.tif;4.1667;37.5918;995;855;0.0135;593.8515;457.3453;1.6996;1.6564;295;297;75;42;5;5;5;5;46;69;1;1;0;0;138;128;266;14769554.88;9.01E-06;9.005;66000;0.187454862;0.180175978;0.175596311;0;3.960850579;0.338534238;0.677068475;3.893143731;0.135413695;0;False;System B 676;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;6.49;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;37.21;Thermal;210;600;15;;;;;1.09;C_7_22;FEI_HELIOS;19.4;82;3.125;37.416;;18.708;;C_7_22_FE_InvRisol=3.125_d=18.708_l0=37.416.tif;3.125;37.1014;2008;1728;0.3203;562.7554;548.6377;1.2582;1.4598;416;419;164;121;7;6;7;6;152;134;3;0;0;0;343;273;616;33885000;9.09E-06;9.0896;66000;0.422183275;0.134509301;0.156061578;0;4.20540062;0.191825291;0.383650583;4.220156411;0.08853475;0;False;System B 680;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;6.49;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;37.21;Thermal;210;600;15;;;;;1.09;C_7_23;FEI_HELIOS;19.4;82;3.125;37.553;;18.776;;C_7_23_FE_InvRisol=3.125_d=18.776_l0=37.553.tif;3.125;37.4269;984;844;-0.1381;737.9305;839.2956;1.304;1.5125;184;175;50;36;3;5;3;5;46;39;1;0;0;0;107;90;197;8110312.5;1.22E-05;12.145;66000;0.168178405;0.138900724;0.161109928;0;5.301891881;0.493199245;0.98639849;5.240241976;0.123299811;0;False;System B 681;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;6.49;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;37.21;Thermal;210;600;15;;;;;1.09;C_7_24;FEI_HELIOS;19.4;82;4.167;37.728;;18.864;;C_7_24_FE_InvRisol=4.167_d=18.864_l0=37.728.tif;4.1667;37.5918;995;855;0.5572;663.8286;752.7428;1.6287;1.7709;295;299;83;35;6;8;6;8;40;80;0;0;0;0;141;139;280;14769554.88;9.48E-06;9.479;66000;0.180828945;0.172678117;0.187754453;0;3.994704003;0.473947933;0.947895865;4.06241085;0;0;False;System B 682;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;6.49;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;37.21;Thermal;210;600;15;;;;;1.09;C_7_25;FEI_HELIOS;19.4;82;4.167;37.764;;17.216;;C_7_25_FE_InvRisol=4.167_d=17.216_l0=37.764.tif;4.1667;37.5918;995;855;0.2671;792.7002;561.1541;1.6526;1.7343;260;260;68;29;3;2;3;2;38;63;0;1;0;0;115;100;215;14769554.88;7.28E-06;7.2785;66000;0.22851592;0.191984201;0.201475372;0;3.283782104;0.169267119;0.338534238;3.419195799;0.067706848;0;False;System B 683;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;5.79;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;38.83;Thermal;210;900;15;;;;;1.09;C_8_26;FEI_HELIOS;22.4;81;4.167;37.779;;18.889;;C_8_26_FE_InvRisol=4.167_d=18.889_l0=37.779.tif;4.1667;37.7581;995;855;0.1172;259.3699;233.2184;1.6819;1.7641;239;229;122;41;8;8;8;8;71;98;0;0;0;0;217;163;380;14769554.88;1.29E-05;12.8643;66000;0.027668523;0.178082482;0.18678596;0;5.518108071;0.54165478;1.08330956;5.721228614;0;0;False;System B 684;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;5.79;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;38.83;Thermal;210;900;15;;;;;1.09;C_8_27;FEI_HELIOS;22.4;81;4.167;38.014;;19.007;;C_8_27_FE_InvRisol=4.167_d=19.007_l0=38.014.tif;4.1667;37.926;995;855;0.186;265.3531;216.4159;1.694;1.7982;246;241;113;46;6;6;6;6;63;105;0;0;0;0;194;169;363;14769554.88;1.23E-05;12.2888;66000;0.115880959;0.178250118;0.1892145;0;5.382694376;0.406241085;0.81248217;5.68737519;0;0;False;System B 685;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;5.79;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;38.83;Thermal;210;900;15;;;;;1.09;C_8_28;FEI_HELIOS;22.4;81;4.167;37.459;;18.729;;C_8_28_FE_InvRisol=4.167_d=18.729_l0=37.459.tif;4.1667;37.4269;2019;1739;0.2194;257.6007;221.6032;1.6434;1.7843;483;480;560;238;10;14;10;14;333;472;9;8;0;0;941;768;1709;60955670.45;1.40E-05;14.0184;66000;0.042865212;0.175492552;0.190538737;0;6.545740488;0.196864376;0.393728751;6.603159264;0.278891199;0;False;System B 686;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;5.79;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;34.14;Termal;190;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML01_42k_190_60_009;FEI_HELIOS;39.2;68.8;3.125;27.093;;13.547;;ML01_42k_190_60_009_FE_InvRisol=3.125_d=13.547_l0=27.093.tif;3.125;26.8908;999;860;0.3023;94.8239;87.3199;1.3358;1.6314;238;243;251;517;16;12;16;12;551;198;21;4;0;0;892;759;1651;8390039.063;9.84E-05;98.3905;42000;0.374556811;0.197209714;0.240850373;0;45.76855926;1.66864539;3.337290779;44.63626417;2.97972391;0;False;System A 850;ML01;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;9.25;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;34.14;Termal;190;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML01_42k_190_60_010;FEI_HELIOS;39.2;68.8;1.562;27.334;;13.667;;ML01_42k_190_60_010_FE_InvRisol=1.562_d=13.667_l0=27.334.tif;1.5625;27.1186;972;833;0.3021;89.7518;81.1662;0.9821;1.4636;120;121;51;121;6;16;6;16;133;48;2;0;0;0;206;217;423;1976748.047;0.0001;106.9939;42000;0.395573398;0.143718446;0.214180142;0;43.50579738;5.564695014;11.12939003;45.78226352;1.01176273;0;False;System A 851;ML03;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;8.63;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;42.48;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML01_42k_230_60_062;FEI_HELIOS;37.2;71.8;12.5;25.953;;12.977;;ML01_42k_230_60_062_FE_InvRisol=12.500_d=12.977_l0=25.953.tif;12.5;70.9141;1002;877;;;;;;2;0;30;3;2;0;2;0;0;189;0;5;0;0;36;202;238;137305312.5;8.67E-07;0.8667;42000;46.41524315;;;0;0.12017015;0.007283039;0.014566079;0.688247223;0.036415197;0;True;System A 852;ML02;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;9.16;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;35.81;Termal;210;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML02_42k_210_60_014;FEI_HELIOS;39.2;71.8;3.125;26.665;;13.332;;ML02_42k_210_60_014_FE_InvRisol=3.125_d=13.332_l0=26.665.tif;3.125;26.556;999;860;0.1999;126.1554;99.4619;1.2491;1.4902;257;257;271;293;15;14;15;14;312;238;9;5;0;0;646;583;1229;8390039.063;7.32E-05;73.2416;42000;0.204806373;0.187383738;0.223552355;0;33.6112857;1.728239868;3.456479736;32.77696301;1.66864539;0;False;System A 855;ML02;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;9.16;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;35.81;Termal;210;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML02_42k_210_60_015;FEI_HELIOS;39.2;71.8;1.562;27.459;;13.759;;ML02_42k_210_60_015_FE_InvRisol=1.562_d=13.759_l0=27.459.tif;1.5625;26.8908;972;833;0.3892;103.9277;92.0394;0.8664;1.3029;128;127;24;102;5;9;5;9;118;25;0;0;0;0;157;154;311;1976748.047;7.87E-05;78.6646;42000;1.045450029;0.125939385;0.189388764;0;31.87052599;3.541169554;7.082339108;36.17051759;0;0;False;System A 856;ML02;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;9.16;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;35.81;Termal;210;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML02_42k_210_60_017;FEI_HELIOS;39.2;71.8;3.125;26.915;;13.458;;ML02_42k_210_60_017_FE_InvRisol=3.125_d=13.458_l0=26.915.tif;3.125;26.4463;999;860;0.2172;121.0534;110.4249;1.2747;1.5619;267;267;226;321;6;19;6;19;351;198;7;3;0;0;609;582;1191;8390039.063;7.10E-05;70.977;42000;0.878351914;0.189433794;0.232114727;0;32.59817957;1.489861955;2.97972391;32.71736853;1.191889564;0;False;System A 857;ML02;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;9.16;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;42.48;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML03_42k_230_60_064;FEI_HELIOS;37.2;71.8;3.125;26.305;;13.153;;ML03_42k_230_60_064_FE_InvRisol=3.125_d=13.153_l0=26.305.tif;3.125;26.0163;999;860;0.3252;132.6878;113.3844;1.2144;1.6186;239;226;369;288;5;17;5;17;296;327;12;20;2;1;710;709;1419;8390039.063;8.46E-05;84.5646;42000;0.551782926;0.184657493;0.246118756;0;39.15357218;1.31107852;2.622157041;37.12735992;3.814046605;0.178783435;False;System A 863;ML03;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;8.63;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;42.48;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML03_42k_230_60_065;FEI_HELIOS;37.2;71.8;3.125;26.161;;13.081;;ML03_42k_230_60_065_FE_InvRisol=3.125_d=13.081_l0=26.161.tif;3.125;26.0163;999;860;0.3103;129.3428;112.149;1.2225;1.488;296;280;379;253;14;7;14;7;278;337;5;19;1;2;712;655;1367;8390039.063;8.15E-05;81.4657;42000;0.277323664;0.186912316;0.227505542;0;37.66371022;1.251484042;2.502968084;36.65060409;2.860534954;0.178783435;False;System A 864;ML03;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;8.63;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;42.48;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML03_42k_230_60_066;FEI_HELIOS;37.2;71.8;1.562;26.07;;13.035;;ML03_42k_230_60_066_FE_InvRisol=1.562_d=13.035_l0=26.070.tif;1.5625;26.0163;972;833;0.1455;133.5701;112.4319;0.8156;1.2168;146;140;69;65;8;7;8;7;69;71;0;0;0;0;162;157;319;1976748.047;8.07E-05;80.6881;42000;0.103098128;0.125140008;0.186697353;0;33.89405145;3.794110237;7.588220473;35.41169554;0;0;False;System A 865;ML03;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;8.63;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;42.48;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML03_42k_230_60_068;FEI_HELIOS;37.2;71.8;3.125;26.34;;13.17;;ML03_42k_230_60_068_FE_InvRisol=3.125_d=13.170_l0=26.340.tif;3.125;26.1224;999;860;0.1541;134.851;120.4452;1.2342;1.4855;253;262;296;269;10;14;10;14;285;273;10;6;0;0;631;596;1227;8390039.063;7.31E-05;73.1224;42000;0.414773247;0.187425968;0.225588459;0;33.67088018;1.430267477;2.860534954;33.25371884;1.907023302;0;False;System A 866;ML03;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;8.63;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;42.48;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML03_42k_230_60_069;FEI_HELIOS;37.2;71.8;1.562;27.089;;13.544;;ML03_42k_230_60_069_FE_InvRisol=1.562_d=13.544_l0=27.089.tif;1.5625;26.4463;972;833;0.39;117.1634;104.1508;0.848;1.2662;101;98;62;78;3;11;3;11;99;52;0;0;0;0;170;163;333;1976748.047;8.42E-05;84.2292;42000;1.200516295;0.1252215;0.186975783;0;35.41169554;3.541169554;7.082339108;38.19404305;0;0;False;System A 867;ML03;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;8.63;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;42.48;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML03_42k_230_60_071;FEI_HELIOS;37.2;71.8;3.125;26.409;;13.205;;ML03_42k_230_60_071_FE_InvRisol=3.125_d=13.205_l0=26.409.tif;3.125;26.2295;999;860;0.3054;135.6952;115.9038;1.232;1.5379;246;216;259;256;12;8;12;8;264;259;7;5;1;1;576;552;1128;8390039.063;6.72E-05;67.2226;42000;0.341005158;0.186595986;0.232926922;0;30.69115627;1.191889564;2.383779128;31.1679121;1.430267477;0.119188956;False;System A 868;ML03;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;8.63;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;37.52;Termal;250;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML04_42k_250_60_080;FEI_HELIOS;38.2;72.8;3.125;26.046;;13.023;;ML04_42k_250_60_080_FE_InvRisol=3.125_d=13.023_l0=26.046.tif;3.125;25.7028;999;860;0.2895;167.2671;146.4151;1.1758;1.5219;270;249;301;168;8;6;8;6;185;253;6;22;0;0;522;483;1005;8390039.063;5.99E-05;59.8925;42000;0.663203784;0.180572833;0.233724948;0;27.94981028;0.834322695;1.66864539;26.10238145;3.337290779;0;False;System A 876;ML04;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.4;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;37.52;Termal;250;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML04_42k_250_60_081;FEI_HELIOS;38.2;72.8;1.562;26.348;;13.174;;ML04_42k_250_60_081_FE_InvRisol=1.562_d=13.174_l0=26.348.tif;1.5625;25.8065;972;833;0.4444;150.4376;130.2432;0.8428;1.2828;140;146;46;52;6;7;6;7;62;46;1;1;0;0;128;121;249;1976748.047;6.30E-05;62.9822;42000;1.03826132;0.12794899;0.194747229;0;24.78818688;3.288228872;6.576457744;27.3175937;1.01176273;0;False;System A 877;ML04;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.4;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;37.52;Termal;250;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML04_42k_250_60_082;FEI_HELIOS;38.2;72.8;1.562;26.157;;13.079;;ML04_42k_250_60_082_FE_InvRisol=1.562_d=13.079_l0=26.157.tif;1.5625;25.8065;972;833;0.0217;217.3277;153.1803;0.7936;1.1475;142;139;36;41;4;5;4;5;44;34;0;0;0;0;92;90;182;1976748.047;4.60E-05;46.0352;42000;0.674511917;0.121354844;0.175472131;0;19.47643255;2.276466142;4.552932284;19.72937323;0;0;False;System A 878;ML05;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.34;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;21000;21000;0;Toulene;36.38;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.07;ML05_42k_190_300_113;FEI_HELIOS;36.2;73.8;6.25;26.424;;13.923;;ML05_42k_190_300_113_FE_InvRisol=6.250_d=13.923_l0=26.424.tif;6.25;35.3591;1008;869;;;;;;21;25;7;27;5;7;5;7;42;4;0;1;0;0;64;54;118;34216875;1.72E-06;1.7243;42000;14.46204545;;;0;0.496830877;0.175352074;0.350704148;0.672182951;0.029225346;0;True;System A 880;ML05;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.34;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;39.95;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML10_146k_190_300_125;FEI_HELIOS;33.2;76.8;12.5;70.956;;35.731;;ML10_146k_190_300_125_FE_InvRisol=12.500_d=35.731_l0=70.956.tif;12.5;71.3092;1007;868;0.7652;15952.6078;14345.2338;4.825;6.624;297;114;9957;135;138;5;138;5;110;4415;5;2338;1;1591;10495;14785;25280;136574375;9.26E-05;92.5503;146000;0.248268726;0.270073606;0.370770479;0;36.94690164;0.52352427;1.04704854;16.56606519;17.15548762;5.828326141;False;System A 904;ML10;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.62;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;39.95;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML10_146k_190_300_126;FEI_HELIOS;33.2;76.8;6.25;70.5;;35.25;;ML10_146k_190_300_126_FE_InvRisol=6.250_d=35.250_l0=70.500.tif;6.25;69.9454;988;849;0.3904;102.4338;91.67;3.7358;5.9075;184;159;1368;787;52;27;52;27;811;1306;27;35;1;0;2392;2244;4636;32766093.75;7.07E-05;70.7439;146000;0.394886554;0.211960284;0.335177305;0;32.88460346;1.205514466;2.411028931;32.30473575;1.892199921;0.015259677;False;System A 905;ML10;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.62;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;39.95;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML10_146k_190_300_129;FEI_HELIOS;33.2;76.8;6.25;70.789;;35.394;;ML10_146k_190_300_129_FE_InvRisol=6.250_d=35.394_l0=70.789.tif;6.25;70.3297;988;849;0.3872;105.3202;93.7807;3.715;5.6976;174;150;1338;689;44;28;44;28;710;1311;25;19;0;0;2230;2122;4352;32766093.75;6.64E-05;66.4101;146000;0.325470685;0.209922586;0.321952873;0;30.93136484;1.098696728;2.197393456;30.83980677;1.342851557;0;False;System A 906;ML10;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.62;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;39.95;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML10_146k_190_300_130;FEI_HELIOS;33.2;76.8;12.5;70.847;;35.423;;ML10_146k_190_300_130_FE_InvRisol=12.500_d=35.423_l0=70.847.tif;12.5;71.7087;1007;868;0.7145;578.6443;802.812;4.4034;5.7269;403;126;12073;140;105;1;105;1;124;4339;11;2408;2;1629;12540;14972;27512;136574375;0.0001;100.7217;146000;0.604465483;0.248618129;0.32334359;0;44.71190148;0.388066942;0.776133883;16.33908264;17.71196097;5.971105487;False;System A 907;ML10;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.62;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;39.95;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML10_146k_190_300_133;FEI_HELIOS;33.2;76.8;6.25;71.109;;35.555;;ML10_146k_190_300_133_FE_InvRisol=6.250_d=35.555_l0=71.109.tif;6.25;69.5652;988;849;0.3722;114.2594;102.1677;3.7283;5.8599;171;157;1209;683;47;24;47;24;688;1217;18;21;0;0;2074;2014;4088;32766093.75;6.24E-05;62.3816;146000;1.097429379;0.209720152;0.329624525;0;28.87130847;1.083437051;2.166874103;29.06968427;1.190254789;0;False;System A 908;ML11;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;46.12;Termal;190;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML11_160k_190_60_041;FEI_HELIOS;38.2;68.8;12.5;34.221;;17.11;;ML11_160k_190_60_041_FE_InvRisol=12.500_d=17.110_l0=34.221.tif;12.5;70.9141;1015;876;0.274;63.3021;39.2735;11.5685;19.8636;18;15;1028;269;19;1;19;1;105;2240;12;367;1;50;1217;3404;4621;138928125;1.66E-05;16.6309;160000;34.90090369;1.352250146;2.321870251;0;4.667881324;0.071979666;0.143959331;8.439615809;2.728029332;0.183548148;True;System A 909;ML11;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;46.12;Termal;190;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML11_160k_190_60_042;FEI_HELIOS;38.2;68.8;6.25;34.292;;17.826;;ML11_160k_190_60_042_FE_InvRisol=6.250_d=17.826_l0=34.292.tif;6.25;35.8543;1007;868;0.3117;121.7829;91.9819;2.3199;3.2556;424;232;6966;242;89;3;89;3;198;2769;22;1592;2;588;7481;8197;15678;34143593.75;0.0002;229.5892;160000;2.22720229;0.260282733;0.365264221;0;105.5542081;1.347251269;2.694502538;43.44885342;47.27094669;8.639980963;False;System A 910;ML11;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.54;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;46.12;Termal;190;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML11_160k_190_60_045;FEI_HELIOS;38.2;68.8;6.25;34.211;;18.032;;ML11_160k_190_60_045_FE_InvRisol=6.250_d=18.032_l0=34.211.tif;6.25;35.4571;1007;868;0.2805;127.0438;106.9667;2.3426;3.305;383;227;7015;297;104;9;104;9;226;3021;20;1611;7;538;7618;8374;15992;34143593.75;0.0002;234.1874;160000;1.788623488;0.259826974;0.366570541;0;107.0771878;1.654776015;3.30955203;47.54918337;47.7688439;7.980999364;False;System A 911;ML12;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.71;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;42.9;Termal;210;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML12_160k_210_60_058;FEI_HELIOS;38.2;68.8;3.125;34.598;;17.308;;ML12_160k_210_60_058_FE_InvRisol=3.125_d=17.308_l0=34.598.tif;3.125;34.0426;988;849;0.2846;90.9754;82.4181;1.6385;2.4252;198;199;335;495;18;21;18;21;416;275;52;22;1;1;912;880;1792;8191523.438;0.0001;109.3814;160000;0.809142111;0.189334412;0.280240351;0;50.66212691;2.380509578;4.761019156;42.17774662;9.033728654;0.122077414;False;System A 917;ML12;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.71;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;42.9;Termal;210;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML12_160k_210_60_059;FEI_HELIOS;38.2;68.8;1.562;34.969;;17.501;;ML12_160k_210_60_059_FE_InvRisol=1.562_d=17.501_l0=34.969.tif;1.5625;34.0426;963;824;0.1936;79.2244;72.6242;;;104;98;79;97;17;11;17;11;111;51;7;1;0;0;255;183;438;1937285.156;0.0001;113.0448;160000;1.34238302;;;0;45.42439182;7.226607789;14.45321558;41.81108792;4.129490165;0;False;System A 918;ML12;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.71;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;42.9;Termal;210;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML12_160k_210_60_061;FEI_HELIOS;38.2;68.8;3.125;34.177;;17.396;;ML12_160k_210_60_061_FE_InvRisol=3.125_d=17.396_l0=34.177.tif;3.125;34.0426;988;849;0.2768;95.8331;85.6427;1.6189;2.3867;189;198;339;444;20;21;20;21;381;274;46;22;1;0;875;825;1700;8191523.438;0.0001;103.7658;160000;0.19701083;0.186123247;0.274396413;0;47.79330768;2.502586992;5.005173984;39.98035317;8.301264169;0.061038707;False;System A 919;ML13;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.94;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;43.91;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML13_160k_230_60_101;FEI_HELIOS;37.2;71.8;6.25;66.678;;33.339;;ML13_160k_230_60_101_FE_InvRisol=6.250_d=33.339_l0=66.678.tif;6.25;67.0157;988;849;0.337;132.1069;111.2523;3.1304;4.4284;198;174;1017;524;35;27;35;27;524;966;18;30;1;0;1685;1631;3316;32766093.75;5.06E-05;50.6011;160000;0.252592306;0.187792075;0.265658838;0;23.51516192;0.94609996;1.892199921;22.7369184;1.464928971;0.015259677;False;System A 920;ML13;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.94;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;43.91;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML13_160k_230_60_104;FEI_HELIOS;37.2;71.8;12.5;66.919;;33.459;;ML13_160k_230_60_104_FE_InvRisol=12.500_d=33.459_l0=66.919.tif;12.5;73.1429;1007;868;0.7432;14884.532;13015.3167;4.2967;5.2751;302;146;8434;93;111;4;111;4;71;3948;5;1823;2;1223;8854;11950;20804;136574375;7.62E-05;76.1636;160000;4.443678117;0.256833737;0.315317254;0;31.21742274;0.421016021;0.842032043;14.7135947;13.38464847;4.484735881;False;System A 921;ML13;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.94;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;43.91;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML13_160k_230_60_105;FEI_HELIOS;37.2;71.8;12.5;66.284;;33.142;;ML13_160k_230_60_105_FE_InvRisol=12.500_d=33.142_l0=66.284.tif;12.5;70.7182;1007;868;0.6785;337.0976;436.7813;4.0818;4.9811;379;151;9791;115;81;2;81;2;102;3604;4;1775;0;1293;10144;11887;22031;136574375;8.07E-05;80.6557;160000;3.236590361;0.246321888;0.300591395;0;36.26595399;0.303863737;0.607727474;13.56769892;13.0258696;4.733684485;False;System A 922;ML13;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.94;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;43.91;Termal;230;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML13_160k_230_60_106;FEI_HELIOS;37.2;71.8;6.25;66.953;;34.13;;ML13_160k_230_60_106_FE_InvRisol=6.250_d=34.130_l0=66.953.tif;6.25;67.7249;988;849;0.3474;130.7054;114.6382;3.1397;4.4542;201;200;1031;466;41;11;41;11;502;958;9;34;0;2;1674;1531;3205;32766093.75;4.89E-05;48.9073;160000;0.57314526;0.183984764;0.261013771;0;22.84373614;0.793503193;1.587006385;22.2791281;1.312332203;0.030519354;False;System A 923;ML14;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.02;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;43.12;Termal;250;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML14_160k_250_60_153;FEI_HELIOS;33.2;75.8;12.5;66.543;;33.272;;ML14_160k_250_60_153_FE_InvRisol=12.500_d=33.272_l0=66.543.tif;12.5;71.3092;1007;868;0.577;256.214;270.2925;4.1562;5.052;349;165;9959;79;123;3;123;3;74;3680;2;1778;0;1385;10406;12282;22688;136574375;8.31E-05;83.061;160000;3.457471118;0.24983169;0.303678769;0;36.74920716;0.461287119;0.922574238;13.74342734;13.03319162;5.070497302;False;System A 924;ML14;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.02;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;43.12;Termal;250;60;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML14_160k_250_60_163;FEI_HELIOS;33.2;75.8;6.25;67.702;;33.851;;ML14_160k_250_60_163_FE_InvRisol=6.250_d=33.851_l0=67.702.tif;6.25;67.0157;988;849;0.3071;134.9543;111.91;2.9073;3.9477;202;179;890;343;28;26;28;26;364;861;8;12;0;0;1354;1306;2660;32766093.75;4.06E-05;40.5907;160000;0.509435657;0.171770406;0.233239786;0;18.81518147;0.824022546;1.648045092;18.69310406;0.610387071;0;False;System A 930;ML15;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.87;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;44.76;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML15_160k_190_300_136;FEI_HELIOS;33.2;75.8;6.25;69.508;;34.754;;ML15_160k_190_300_136_FE_InvRisol=6.250_d=34.754_l0=69.508.tif;6.25;67.7249;988;849;0.3307;117.5325;102.1361;3.3375;4.9111;175;148;1047;688;30;27;30;27;668;1034;24;28;0;0;1853;1859;3712;32766093.75;5.66E-05;56.6439;160000;1.299323996;0.192064223;0.282620706;0;26.47553921;0.869801577;1.739603153;25.97196988;1.587006385;0;False;System A 932;ML15;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.87;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;44.76;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML15_160k_190_300_140;FEI_HELIOS;33.2;75.8;6.25;69.929;;34.964;;ML15_160k_190_300_140_FE_InvRisol=6.250_d=34.964_l0=69.929.tif;6.25;68.0851;988;849;0.3802;124.2893;109.7985;3.3365;4.9692;202;191;1097;660;46;27;46;27;670;1056;13;35;1;1;1934;1870;3804;32766093.75;5.81E-05;58.0478;160000;1.336022914;0.190853449;0.284246654;0;26.8112521;1.113956405;2.22791281;26.33820212;1.464928971;0.030519354;False;System A 934;ML15;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.87;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;44.76;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML15_160k_190_300_142;FEI_HELIOS;33.2;75.8;12.5;68.001;;34;;ML15_160k_190_300_142_FE_InvRisol=12.500_d=34.000_l0=68.001.tif;12.5;71.3092;1007;868;0.6127;270.461;299.1406;4.277;5.7127;393;186;9944;240;137;4;137;4;215;3618;7;1852;1;1337;10587;12254;22841;136574375;8.36E-05;83.6211;160000;2.374700489;0.251588235;0.336041176;0;37.28371446;0.516202252;1.032404505;14.03264705;13.61163103;4.898429885;False;System A 935;ML15;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.87;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;44.76;Termal;190;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML15_160k_190_300_143;FEI_HELIOS;33.2;75.8;6.25;69.584;;34.792;;ML15_160k_190_300_143_FE_InvRisol=6.250_d=34.792_l0=69.584.tif;6.25;68.4492;988;849;0.3208;119.5398;99.1302;3.2824;4.7884;187;178;1007;604;45;31;45;31;584;1018;10;19;0;0;1746;1753;3499;32766093.75;5.34E-05;53.3936;160000;0.822121055;0.188687054;0.27525868;0;24.58333929;1.159735435;2.319470871;24.4460022;0.885061253;0;False;System A 936;ML15;SiO_2 Termal;99.26;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.87;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;26.81;Termal;250;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML24_146k_250_300_268;FEI_HELIOS;37;73;8.333;75.501;;37.75;;ML24_146k_250_300_268_FE_InvRisol=8.333_d=37.750_l0=75.501.tif;8.3333;73.5632;995;856;0.6431;223.4082;280.6267;6.3874;10.6604;152;162;2413;1300;51;33;51;33;1334;2097;226;436;36;74;4461;4601;9062;59147174.9;7.66E-05;76.6055;146000;1.299976789;0.338405298;0.564789404;0;31.38780513;0.710093087;1.420186173;29.0039212;11.19241961;0.929883804;False;System A 998;ML25;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.73;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;30.04;Termal;190;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML25_146k_190_600_296;FEI_HELIOS;35;74.9;6.25;71.04;;35.52;;ML25_146k_190_600_296_FE_InvRisol=6.250_d=35.520_l0=71.040.tif;6.25;69.5652;988;849;0.4402;119.4527;107.9459;3.7508;5.8824;196;157;1222;742;44;24;44;24;716;1241;18;25;0;0;2106;2105;4211;32766093.75;6.43E-05;64.2585;146000;1.048894351;0.211193694;0.331216216;0;29.9700052;1.037658021;2.075316042;29.86318746;1.312332203;0;False;System A 999;ML25;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.73;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;30.04;Termal;190;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML25_146k_190_600_299;FEI_HELIOS;35;74.9;6.25;71.342;;35.671;;ML25_146k_190_600_299_FE_InvRisol=6.250_d=35.671_l0=71.342.tif;6.25;70.7182;988;849;0.4205;113.3754;104.7434;3.8058;6.0088;188;159;1288;699;34;26;34;26;768;1164;16;41;2;0;2196;2023;4219;32766093.75;6.44E-05;64.3806;146000;0.439109617;0.213383421;0.336901124;0;30.32097776;0.915580607;1.831161214;29.48169554;1.739603153;0.030519354;False;System A 1000;ML25;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.73;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;30.04;Termal;190;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML25_146k_190_600_302;FEI_HELIOS;35;74.9;6.25;71.679;;35.839;;ML25_146k_190_600_302_FE_InvRisol=6.250_d=35.839_l0=71.679.tif;6.25;69.9454;988;849;0.385;109.8962;98.3884;3.7958;6.0284;175;146;1337;737;39;32;39;32;780;1312;13;34;0;1;2260;2216;4476;32766093.75;6.83E-05;68.3023;146000;1.224082856;0.211825107;0.336415637;0;31.64856964;1.083437051;2.166874103;31.92324383;1.434409617;0.015259677;False;System A 1001;ML26;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;27.51;Termal;210;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML26_146k_210_600_304;FEI_HELIOS;35;74.9;6.25;71.476;;35.738;;ML26_146k_210_600_304_FE_InvRisol=6.250_d=35.738_l0=71.476.tif;6.25;69.5652;988;849;0.4099;120.164;114.448;3.5827;5.46;175;165;1187;703;54;24;54;24;698;1184;10;32;0;0;2067;2023;4090;32766093.75;6.24E-05;62.4121;146000;1.35478144;0.200498069;0.30555711;0;28.84078912;1.190254789;2.380509578;28.7187117;1.28181285;0;False;System A 1002;ML26;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;27.51;Termal;210;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML26_146k_210_600_307;FEI_HELIOS;35;74.9;6.25;72.212;;36.106;;ML26_146k_210_600_307_FE_InvRisol=6.250_d=36.106_l0=72.212.tif;6.25;70.7182;984;845;0.4191;121.0737;113.1295;3.5774;5.5936;188;173;1064;739;40;31;40;31;715;1066;19;21;1;0;1940;1940;3880;32479687.5;5.97E-05;59.7296;146000;1.045125523;0.19816097;0.309843239;0;27.75580892;1.092990812;2.185981623;27.41713571;1.231538943;0.015394237;False;System A 1003;ML26;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;73000;73000;0;Toulene;27.51;Termal;210;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.2;ML26_146k_210_600_310;FEI_HELIOS;35;74.9;6.25;71.527;;35.763;;ML26_146k_210_600_310_FE_InvRisol=6.250_d=35.763_l0=71.527.tif;6.25;69.9454;988;849;0.3995;114.0209;102.8993;3.6171;5.5544;190;176;1168;785;49;33;49;33;782;1176;12;31;0;1;2121;2125;4246;32766093.75;6.48E-05;64.7926;146000;1.117956577;0.202281688;0.310622711;0;29.80214875;1.251293496;2.502586992;29.87844714;1.312332203;0.015259677;False;System A 1004;ML27;SiO_2 Termal;99,60;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;5.69;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.65;Termal;210;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML28_160k_210_300_244;FEI_HELIOS;39.6;70.9;6.25;68.8;;34.4;;ML28_160k_210_300_244_FE_InvRisol=6.250_d=34.400_l0=68.800.tif;6.25;68.8172;988;849;0.3076;126.3614;110.0562;3.0197;4.1708;197;175;877;468;42;24;42;24;492;840;12;12;0;1;1519;1407;2926;32766093.75;4.47E-05;44.6498;160000;0.012498438;0.175563953;0.242488372;0;20.52426527;1.007138668;2.014277335;20.32588947;0.732464485;0.015259677;False;System A 1011;ML28;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.61;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.65;Termal;210;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML28_160k_210_300_247;FEI_HELIOS;39.6;70.9;8.333;69.432;;34.716;;ML28_160k_210_300_247_FE_InvRisol=8.333_d=34.716_l0=69.432.tif;8.3333;68.5408;999;860;0.342;154.3044;138.1647;3.2928;4.8934;267;198;2336;500;56;14;56;14;487;2045;3;172;0;24;2997;3004;6001;59662452.27;5.03E-05;50.2913;160000;0.645924414;0.189699274;0.281910358;0;23.76704185;0.586633614;1.173267228;21.21937587;2.93316807;0.201131525;False;System A 1012;ML28;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.61;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;33.65;Termal;210;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML28_160k_210_300_248;FEI_HELIOS;39.6;70.9;4.167;69.879;;34.939;;ML28_160k_210_300_248_FE_InvRisol=4.167_d=34.939_l0=69.879.tif;4.1667;68.8173;972;833;0.1742;120.2692;114.5055;2.4768;3.8231;126;127;309;231;25;18;25;18;243;318;2;0;0;0;631;603;1234;14056897.49;4.39E-05;43.893;160000;0.765485453;0.141778528;0.218844271;0;19.20765234;1.529498242;3.058996484;19.9546166;0.142278906;0;False;System A 1013;ML29;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.91;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;36.11;Termal;230;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML29_160k_230_300_249;FEI_HELIOS;39.6;72.9;12.5;67.818;;33.909;;ML29_160k_230_300_249_FE_InvRisol=12.500_d=33.909_l0=67.818.tif;12.5;70.7182;1007;868;0.661;339.0491;433.7941;4.1342;5.1811;363;144;10422;114;99;0;99;0;104;3414;3;1886;0;1431;10829;12406;23235;136574375;8.51E-05;85.0635;160000;2.093460049;0.243840868;0.305588487;0;38.57238959;0.362439879;0.724879759;12.87942925;13.83129156;5.238903711;False;System A 1014;ML29;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.91;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;36.11;Termal;230;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML29_160k_230_300_250;FEI_HELIOS;39.6;72.9;6.25;68.085;;34.042;;ML29_160k_230_300_250_FE_InvRisol=6.250_d=34.042_l0=68.085.tif;6.25;67.3684;988;849;0.3073;122.0872;107.0822;3.0819;4.3206;187;166;879;600;34;26;34;26;666;796;9;21;0;0;1665;1516;3181;32766093.75;4.85E-05;48.541;160000;0.529038031;0.181064567;0.253839375;0;22.56906196;0.915580607;1.831161214;22.30964745;0.915580607;0;False;System A 1015;ML29;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.91;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;36.11;Termal;230;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML29_160k_230_300_254;FEI_HELIOS;39.6;72.9;6.25;68.431;;34.216;;ML29_160k_230_300_254_FE_InvRisol=6.250_d=34.216_l0=68.431.tif;6.25;68.0851;988;849;0.3573;114.6944;100.5804;3.1602;4.5965;169;154;868;629;28;23;28;23;679;783;13;23;0;0;1657;1527;3184;32766093.75;4.86E-05;48.5868;160000;0.253376708;0.184720599;0.268675473;0;22.84373614;0.778243516;1.556487032;22.30964745;1.098696728;0;False;System A 1016;ML29;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.91;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;36.11;Termal;230;300;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML29_160k_230_300_258;FEI_HELIOS;39.6;72.9;8.333;67.848;;33.924;;ML29_160k_230_300_258_FE_InvRisol=8.333_d=33.924_l0=67.848.tif;8.3333;67.1916;999;860;0.4226;157.0595;138.3947;3.391;5.0581;264;183;2602;607;59;13;59;13;650;1999;5;313;0;39;3439;3390;6829;59662452.27;5.72E-05;57.2303;160000;0.486079639;0.199917463;0.298201863;0;26.89296097;0.603394574;1.206789149;22.19989205;5.329985408;0.326838728;False;System A 1017;ML31;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.78;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;40.42;Termal;190;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML31_160k_190_600_235;FEI_HELIOS;38.2;72.8;12.5;68.664;;34.251;;ML31_160k_190_600_235_FE_InvRisol=12.500_d=34.251_l0=68.664.tif;12.5;70.9141;1007;868;0.7234;13321.1796;11239.9846;4.4625;5.9659;336;155;9711;207;137;4;137;4;138;3792;4;2029;3;1450;10277;13187;23464;136574375;8.59E-05;85.9019;160000;1.612072381;0.260576334;0.348363551;0;36.3098861;0.516202252;1.032404505;14.38776491;14.88566212;5.319445906;False;System A 1018;ML31;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7.78;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;40.42;Termal;190;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML31_160k_190_600_236;FEI_HELIOS;38.2;72.8;6.25;69.29;;34.645;;ML31_160k_190_600_236_FE_InvRisol=6.250_d=34.645_l0=69.290.tif;6.25;68.0851;988;849;0.3272;109.1088;90.3373;3.4204;5.1658;178;171;1035;817;36;26;36;26;835;972;21;37;0;0;2020;1941;3961;32766093.75;6.04E-05;60.4436;160000;0.877087624;0.197454178;0.298213306;0;28.2609214;0.94609996;1.892199921;27.57423594;1.770122507;0;False;System A 1019;ML32;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.18;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;39.01;Termal;210;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML32_160k_210_600_326;FEI_HELIOS;35;74.9;6.25;68.259;;34.13;;ML32_160k_210_600_326_FE_InvRisol=6.250_d=34.130_l0=68.259.tif;6.25;68.0851;988;849;0.3132;131.7148;115.559;3.0384;4.2939;220;191;847;413;32;18;32;18;417;832;9;11;0;0;1378;1321;2699;32766093.75;4.12E-05;41.1859;160000;0.12754494;0.178048638;0.251620275;0;19.22719274;0.762983839;1.525967678;19.0593363;0.610387071;0;False;System A 1021;ML32;SiO_2 Termal;99.6;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;6.18;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;80000;80000;0;Toulene;41;Termal;230;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;ML33_160k_230_600_331;FEI_HELIOS;35;71.9;6.25;66.776;;33.388;;ML33_160k_230_600_331_FE_InvRisol=6.250_d=33.388_l0=66.776.tif;6.25;67.0157;988;849;0.3106;138.4495;126.2505;2.9027;3.8258;189;182;824;361;28;19;28;19;381;787;8;7;0;0;1305;1219;2524;32766093.75;3.85E-05;38.5154;160000;0.179159096;0.173876842;0.229172158;0;18.08271699;0.717204809;1.434409617;17.82330248;0.457790303;0;False;System A 1024;ML33;SiO_2 Termal;99,60;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;270;300;15;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;42.77;Termal;250;550;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I15__250oC_550s_059;FEI_HELIOS;23.3;79.3;6.25;37.724;;18.862;;Sample_I15__250oC_550s_059_FE_InvRisol=6.250_d=18.862_l0=37.724.tif;6.25;37.9822;1004;864;0.1543;309.4642;287.5387;2.0724;2.5847;361;342;545;53;10;6;10;6;68;380;0;74;0;13;643;638;1281;33885000;1.89E-05;18.9022;66000;0.34105529;0.219743399;0.274064256;0;8.823963406;0.236092666;0.472185333;6.610594658;2.183857164;0.191825291;False;System B 1176;I16;SiO_2 Native;1.69;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.21;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;60.45;Termal;250;550;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I16__250oC_550s_060;FEI_HELIOS;23.3;78.3;6.25;38.624;;19.312;;Sample_I16__250oC_550s_060_FE_InvRisol=6.250_d=19.312_l0=38.624.tif;6.25;38.9058;1004;864;0.3809;300.4769;297.6303;2.0727;2.6074;372;351;605;47;8;8;8;8;77;390;1;82;0;12;708;665;1373;33885000;2.03E-05;20.2597;66000;0.363473142;0.214654101;0.270028998;0;9.620776155;0.236092666;0.472185333;6.8909547;2.449461414;0.1770695;False;System B 1177;I16;SiO_2 Native;1.69;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.21;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;60.45;Termal;250;550;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I16__250oC_550s_061;FEI_HELIOS;23.3;78.3;6.25;38.76;;19.38;;Sample_I16__250oC_550s_061_FE_InvRisol=6.250_d=19.380_l0=38.760.tif;6.25;39.0244;1004;864;0.2171;236.9506;227.1187;2.0881;2.6198;406;393;605;55;17;3;17;3;91;389;0;85;0;13;747;662;1409;33885000;2.08E-05;20.7909;66000;0.339913916;0.215490196;0.270361197;0;9.738822488;0.295115833;0.590231666;7.082779991;2.50848458;0.191825291;False;System B 1178;I16;SiO_2 Native;1.69;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.21;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;60.45;Termal;250;550;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I16__250oC_550s_062;FEI_HELIOS;23.3;78.3;6.25;38.702;;19.351;;Sample_I16__250oC_550s_062_FE_InvRisol=6.250_d=19.351_l0=38.702.tif;6.25;39.1437;1004;864;0.2274;269.7516;270.5535;2.0593;2.5768;391;371;588;66;5;7;5;7;87;382;2;86;0;10;694;672;1366;33885000;2.02E-05;20.1564;66000;0.567404494;0.212836546;0.266322154;0;9.650287738;0.1770695;0.354139;6.920466283;2.59701933;0.147557916;False;System B 1179;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.94;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;43.88;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I1_003;FEI_HELIOS;27.9;74.2;12.5;38.529;;19.264;;Sample_I1_003_FE_InvRisol=12.500_d=19.264_l0=38.529.tif;12.5;71.3092;1012;872;0.2728;62.6047;44.6321;11.3318;18.8963;70;66;1983;967;24;4;24;4;573;2369;128;412;17;65;2936;4375;7311;137885000;2.65E-05;26.5112;66000;29.84407975;1.176474252;1.961825166;0;10.69732023;0.101533887;0.203067774;10.66831055;3.916307067;0.29734924;True;System B 1180;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.94;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;43.88;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I1_004;FEI_HELIOS;27.9;74.2;6.25;38.578;;19.289;;Sample_I1_004_FE_InvRisol=6.250_d=19.289_l0=38.578.tif;6.25;38.6707;1004;864;0.1694;273.8082;269.4578;2.081;2.4652;369;351;509;61;8;6;8;6;94;344;0;60;0;8;627;567;1194;33885000;1.76E-05;17.6184;66000;0.120002019;0.215770646;0.255606823;0;8.410801239;0.206581083;0.413162166;6.463036742;1.770694998;0.118046333;False;System B 1181;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.94;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;43.88;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I1_005;FEI_HELIOS;27.9;74.2;6.25;38.479;;19.24;;Sample_I1_005_FE_InvRisol=6.250_d=19.240_l0=38.479.tif;6.25;38.0952;1004;864;0.2795;291.6466;268.8596;2.0483;2.4706;373;344;471;70;14;4;14;4;94;316;2;54;0;9;611;534;1145;33885000;1.69E-05;16.8954;66000;0.501213202;0.212920998;0.256819127;0;7.982883282;0.26560425;0.531208499;6.049874576;1.652648665;0.132802125;False;System B 1182;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.94;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;43.88;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I1_009;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;37.797;;18.899;;Sample_I1_009_FE_InvRisol=6.250_d=18.899_l0=37.797.tif;6.25;37.8698;1004;864;0.1609;286.8115;269.4413;2.0813;2.5304;273;246;693;66;25;7;25;7;94;522;1;110;0;27;864;915;1779;33885000;2.63E-05;26.2506;66000;0.096211284;0.22025504;0.267781364;0;11.19964586;0.472185333;0.944370665;9.089567655;3.275785746;0.398406375;False;System B 1183;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.94;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;43.88;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I1_010;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;37.979;;18.989;;Sample_I1_010_FE_InvRisol=6.250_d=18.989_l0=37.979.tif;6.25;38.3234;1004;864;0.1263;301.6872;305.5186;2.0184;2.4017;348;340;474;53;13;5;13;5;78;358;0;40;0;7;591;527;1118;33885000;1.65E-05;16.497;66000;0.451361949;0.212586234;0.252956975;0;7.776302199;0.26560425;0.531208499;6.433525159;1.180463332;0.103290542;False;System B 1184;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.94;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;43.88;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I1_014;FEI_HELIOS;27.9;75.2;6.25;38.425;;19.228;;Sample_I1_014_FE_InvRisol=6.250_d=19.228_l0=38.425.tif;6.25;38.6707;1004;864;0.3307;298.342;264.8201;2.0279;2.414;425;400;567;60;20;2;20;2;92;381;0;74;0;10;719;626;1345;33885000;1.99E-05;19.8465;66000;0.318694817;0.210931974;0.251092157;0;9.251881363;0.324627416;0.649254833;6.97948945;2.183857164;0.147557916;False;System B 1188;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;9.09;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;36.88;Thermal;230;600;15;;;;;1.09;Sample_I2_006;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;38.089;;19.045;;Sample_I2_006_FE_InvRisol=6.250_d=19.045_l0=38.089.tif;6.25;37.8698;1004;864;0.3289;263.2594;255.9369;2.0402;2.4598;400;389;587;62;10;6;10;6;89;400;1;68;0;12;708;657;1365;33885000;2.01E-05;20.1417;66000;0.288577492;0.214250459;0.258314518;0;9.57650878;0.236092666;0.472185333;7.215582116;2.036299247;0.1770695;False;System B 1189;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;9.09;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;36.88;Thermal;230;600;15;;;;;1.09;Sample_I2_007;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;38.161;;19.08;;Sample_I2_007_FE_InvRisol=6.250_d=19.080_l0=38.161.tif;6.25;37.9822;1004;864;0.3181;290.3651;277.6638;2.042;2.4401;405;397;537;55;29;6;29;6;80;374;0;53;0;20;704;615;1319;33885000;1.95E-05;19.4629;66000;0.234820706;0.214046122;0.255775681;0;8.735428656;0.516452708;1.032905415;6.699129408;1.564113915;0.295115833;False;System B 1190;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;9.09;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;36.88;Thermal;230;600;15;;;;;1.09;Sample_I2_008;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;38.188;;19.115;;Sample_I2_008_FE_InvRisol=6.250_d=19.115_l0=38.188.tif;6.25;38.209;1004;864;0.1197;263.4011;244.2382;2.1226;2.545;365;342;588;59;10;7;10;7;81;418;1;61;0;12;701;659;1360;33885000;2.01E-05;20.0679;66000;0.02748799;0.222087366;0.266283024;0;9.546997196;0.250848458;0.501696916;7.363140032;1.829718164;0.1770695;False;System B 1191;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.15;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;45.05;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I3__230oC_500s_015;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;38.361;;19.18;;Sample_I3__230oC_500s_015_FE_InvRisol=6.250_d=19.180_l0=38.361.tif;6.25;38.3234;1004;864;0.3657;269.1752;252.7824;2.0191;2.6116;343;327;631;76;11;6;11;6;86;429;3;76;0;21;756;741;1497;33885000;2.21E-05;22.0894;66000;0.049032137;0.210542231;0.272325339;0;10.4323447;0.250848458;0.501696916;7.599232699;2.33141508;0.309871625;False;System B 1192;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.15;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;45.05;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I3__230oC_500s_016;FEI_HELIOS;27.9;77.2;6.25;38.364;;19.182;;Sample_I3__230oC_500s_016_FE_InvRisol=6.250_d=19.182_l0=38.364.tif;6.25;38.3808;2028;1748;0.2174;259.0369;231.2103;2.0797;2.6509;778;720;3610;293;39;17;39;17;352;2381;9;480;1;119;4100;4071;8171;138474375;2.95E-05;29.5037;66000;0.021890734;0.216838703;0.276394537;0;14.09286014;0.202203476;0.404406953;9.868251797;3.531339282;0.433293163;False;System B 1193;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.15;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;45.05;Thermal;230;500;15;;;;;1.09;Sample_I3__230oC_500s_017;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;38.574;;19.287;;Sample_I3__230oC_500s_017_FE_InvRisol=6.250_d=19.287_l0=38.574.tif;6.25;38.5542;1004;864;0.1601;306.2499;314.3276;2.0953;2.6613;377;352;614;63;10;8;10;8;79;446;2;67;0;14;727;712;1439;33885000;2.12E-05;21.2336;66000;0.025671544;0.217275885;0.275968269;0;9.989670946;0.26560425;0.531208499;7.746790615;2.036299247;0.206581083;False;System B 1194;I4;SiO_2 Native;1.7;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.44;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;41.1;Termal;230;550;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I4__230oC_550s_018;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;37.767;;18.954;;Sample_I4__230oC_550s_018_FE_InvRisol=6.250_d=18.954_l0=37.767.tif;6.25;37.6471;1004;864;0.2011;260.1095;241.7833;2.0706;2.5387;347;321;571;56;9;9;9;9;86;397;1;70;0;10;686;652;1338;33885000;1.97E-05;19.7432;66000;0.158988836;0.218486863;0.267880131;0;9.251881363;0.26560425;0.531208499;7.127047366;2.095322414;0.147557916;False;System B 1195;I4;SiO_2 Native;1.7;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.44;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;41.1;Termal;230;550;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I4__230oC_550s_019;FEI_HELIOS;27.9;76.2;6.25;38.167;;19.047;;Sample_I4__230oC_550s_019_FE_InvRisol=6.250_d=19.047_l0=38.167.tif;6.25;38.209;1004;864;0.3113;245.1713;221.1241;2.0422;2.5394;376;359;635;60;13;7;13;7;99;449;0;71;0;11;773;706;1479;33885000;2.18E-05;21.8238;66000;0.054991097;0.214437969;0.266645666;0;10.2552752;0.295115833;0.590231666;8.086173823;2.095322414;0.162313708;False;System B 1196;I4;SiO_2 Native;1.7;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.44;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;41.1;Termal;230;550;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I4__230oC_550s_020;FEI_HELIOS;27.9;77.2;6.25;37.984;;19.009;;Sample_I4__230oC_550s_020_FE_InvRisol=6.250_d=19.009_l0=37.984.tif;6.25;37.9822;2028;1748;0.2949;283.9351;277.239;2.0469;2.5106;764;732;2353;263;21;12;21;12;377;1659;7;233;0;57;2807;2606;5413;138474375;1.96E-05;19.5451;66000;0.002369475;0.215361145;0.264148561;0;9.445790963;0.11915562;0.23831124;7.351540673;1.733172654;0.205814253;False;System B 1197;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.16;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;45.16;Thermal;230;600;15;;;;;1.09;Sample_I5__230oC_600s_021;FEI_HELIOS;27.9;79.2;6.25;38.523;;19.262;;Sample_I5__230oC_600s_021_FE_InvRisol=6.250_d=19.262_l0=38.523.tif;6.25;38.4384;1004;864;0.299;238.9836;200.6158;2.1036;2.7527;440;419;863;79;20;6;20;6;95;544;1;128;0;27;1020;983;2003;33885000;2.96E-05;29.5559;66000;0.109925235;0.218419686;0.285816634;0;13.89995573;0.383650583;0.767301166;9.428950863;3.806994245;0.398406375;False;System B 1198;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.16;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;45.16;Thermal;230;600;15;;;;;1.09;Sample_I5__230oC_600s_022;FEI_HELIOS;27.9;79.2;6.25;38.369;;19.238;;Sample_I5__230oC_600s_022_FE_InvRisol=6.250_d=19.238_l0=38.369.tif;6.25;38.209;1004;864;0.0845;301.4111;282.4008;2.0912;2.7244;332;310;710;50;13;4;13;4;74;529;2;71;0;13;827;774;1601;33885000;2.36E-05;23.624;66000;0.208937293;0.217403056;0.283231105;0;11.21440165;0.250848458;0.501696916;8.897742364;2.154345581;0.191825291;False;System B 1199;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.16;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;45.16;Thermal;230;600;15;;;;;1.09;Sample_I5__230oC_600s_023;FEI_HELIOS;27.9;79.2;6.25;38.366;;19.183;;Sample_I5__230oC_600s_023_FE_InvRisol=6.250_d=19.183_l0=38.366.tif;6.25;38.4962;2028;1748;0.2033;304.7182;276.4111;2.0887;2.7319;760;706;2868;308;21;7;21;7;433;1998;7;303;1;63;3381;3131;6512;138474375;2.35E-05;23.5134;66000;0.169394058;0.21776573;0.284825106;0;11.46782573;0.101101738;0.202203476;8.777797336;2.238681344;0.231089687;False;System B 1200;I6;SiO_2 Native;1.73;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;7.86;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;28.44;Termal;230;500;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I6__230oC_500s_024;FEI_HELIOS;30.2;75.2;6.25;38.839;;19.419;;Sample_I6__230oC_500s_024_FE_InvRisol=6.250_d=19.419_l0=38.839.tif;6.25;39.6285;982;861;0.3275;703.2717;490.7729;2.1505;2.9435;137;71;1609;24;18;0;18;0;22;872;1;368;0;84;1687;1907;3594;33027421.88;5.44E-05;54.4093;66000;1.006149043;0.221484113;0.303156702;0;24.7218812;0.272500834;0.545001668;13.53420808;11.17253419;1.271670558;False;System B 1201;I6;SiO_2 Native;1.73;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;7.86;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;28.44;Termal;230;500;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I6__230oC_500s_027;FEI_HELIOS;30.2;75.2;6.25;38.438;;19.219;;Sample_I6__230oC_500s_027_FE_InvRisol=6.250_d=19.219_l0=38.438.tif;6.25;38.4384;983;828;;;;2.5893;3.3665;0;0;204;453;0;0;0;0;235;252;111;31;21;9;730;794;1524;31793906.25;2.40E-05;23.9669;66000;0.000520316;0.269452105;0.350330402;0;10.33216861;0;0;7.658700321;4.466264664;0.471788521;False;System B 1204;I7;SiO_2 Native;1.72;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.82;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toulene;35.14;Termal;230;600;15;Lamellae;Perpendicular;NO;NO;1.09;Sample_I7__230oC_600s_031;FEI_HELIOS;30.2;76.2;3.125;39.013;;19.507;;Sample_I7__230oC_600s_031_FE_InvRisol=3.125_d=19.507_l0=39.013.tif;3.125;38.9058;2006;1728;-0.134;1822.3625;1534.1923;1.9449;3.304;108;98;243;82;4;1;4;1;77;404;4;22;0;2;340;539;879;33851250;1.30E-05;12.9833;66000;0.137579121;0.199405342;0.338750192;0;4.800413574;0.073852517;0.147705033;7.10461209;0.768066172;0.029541007;False;System B 1206;I7;SiO_2 Native;1.72;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;8.82;Blend;PS (polystyrene);PMMA;NO;3100;3900;0;50;50;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;33000;33000;0;Toluene;39.52;Thermal;230;600;15;;;;;1.09;Sample_I9__230oC_600s_039;FEI_HELIOS;30.2;76.2;6.25;37.717;;18.858;;Sample_I9__230oC_600s_039_FE_InvRisol=6.250_d=18.858_l0=37.717.tif;6.25;37.9822;2028;1748;0.2187;364.7014;361.1421;2.0629;2.6506;809;750;3095;234;25;9;25;9;259;2104;5;390;1;97;3442;3451;6893;138474375;2.49E-05;24.8891;66000;0.350333953;0.21878248;0.281111465;0;12.02027451;0.122766396;0.245532793;8.532264544;2.852513326;0.353856083;False;System B 1213;W1;SiO_2 Native;2.06;RCP;Toulene;PS (polystyrene);PMMA;NO;8570;6030;0;290;300;15;4.29;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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A 1350;;Silicon Oxide 100 nm;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;350;600;18;8.72;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;21.43;Thermal;250;300;18;;;;;1.06;FM_19_03;CZ_SEM;46;33;2.8;26.609;;13.305;;FM_19_03_FE_InvRisol=2.800_d=13.305_l0=26.609.tif;2.8;26.5481;2019;1384;0.2954;208.3169;195.1537;1.1252;1.2489;445;419;409;152;15;8;15;8;160;387;2;13;0;0;618;589;1207;21907280.64;2.76E-05;27.5479;51000;0.114566069;0.169139421;0.187733935;0;12.80396251;0.524939639;1.049879279;12.48443403;0.684703878;0;False;System A 1351;;Silicon Oxide 100 nm;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;350;600;18;8.72;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;18.21;Thermal;230;1;13;;;;;1.06;FP_01_05;CZ_SEM;47.4;31.7;2.8;24.141;;12.071;;FP_01_05_FE_InvRisol=2.800_d=12.071_l0=24.141.tif;2.8;23.8933;2023;1388;0.2177;40.9414;35.2227;1.371;2.1385;516;368;11719;3271;182;44;182;44;3410;10073;97;1209;2;86;15875;16158;32033;22014124.16;0.0007;727.5556;51000;0.515673175;0.227155994;0.354320272;0;340.4632383;5.133068169;10.26613634;306.2352129;59.32554893;1.998716809;False;System A 1364;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.42;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;18.21;Thermal;230;1;13;;;;;1.06;FP_01_06;CZ_SEM;47.4;31.7;1.9;24.606;;12.303;;FP_01_06_FE_InvRisol=1.900_d=12.303_l0=24.606.tif;1.9;25.6;2008;1373;0.182;27.2184;25.5918;1.3071;2.1433;268;254;3955;2862;134;63;134;63;3105;3990;71;125;1;2;7607;7297;14904;9952712.24;0.0007;748.7406;51000;1.979843047;0.21248476;0.348419085;0;342.4694614;9.896799749;19.7935995;356.4355037;19.69312437;0.150712687;False;System A 1365;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.33;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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A 1367;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.33;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;18.09;Thermal;250;1;13;;;;;1.06;FP_04_04;CZ_SEM;47.9;31.3;3.7;27.017;;13.509;;FP_04_04_FE_InvRisol=3.700_d=13.509_l0=27.017.tif;3.7;26.4028;1000;683;0.215;58.6109;49.9398;1.3828;1.9117;324;205;3470;508;51;28;51;28;592;2595;8;367;0;64;4231;4125;8356;9350270;0.0004;446.832;51000;1.14976095;0.204722777;0.283026131;0;212.72113;4.22447694;8.44895388;170.4228862;40.10579374;3.422361066;False;System A 1368;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.33;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;21.36;Thermal;310;1;13;;;;;1.06;FP_13_03;CZ_SEM;48.5;30.9;3.7;26.649;;13.231;;FP_13_03_FE_InvRisol=3.700_d=13.231_l0=26.649.tif;3.7;26.4951;1000;683;0.2317;104.0951;92.1107;1.2261;1.5565;288;258;960;194;53;15;53;15;173;682;10;133;1;32;1315;1293;2608;9350270;0.0001;139.4612;51000;0.289590002;0.185337465;0.23528078;0;61.70944796;3.636258632;7.272517264;45.72060486;15.29367601;1.764654924;False;System A 1389;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.84;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;21.36;Thermal;310;1;13;;;;;1.06;FP_13_04;CZ_SEM;48.5;30.9;3.7;26.246;;13.237;;FP_13_04_FE_InvRisol=3.700_d=13.237_l0=26.246.tif;3.7;26.4028;1000;683;0.1773;99.2762;82.5004;1.2216;1.5139;272;258;782;147;26;12;26;12;140;601;7;81;0;15;1014;994;2008;9350270;0.0001;107.3766;51000;0.297822552;0.184573544;0.228737629;0;49.67770984;2.032026883;4.064053765;39.62452421;9.41149293;0.802115875;False;System A 1390;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.84;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;21.36;Thermal;310;1;13;;;;;1.06;FP_13_05;CZ_SEM;48.5;30.9;3.7;26.846;;13.423;;FP_13_05_FE_InvRisol=3.700_d=13.423_l0=26.846.tif;3.7;26.4951;1000;683;0.1859;96.4662;82.9799;1.2305;1.5054;279;266;745;160;23;10;23;10;161;526;7;90;1;19;992;954;1946;9350270;0.0001;104.0612;51000;0.657841702;0.183342025;0.224301572;0;48.39432444;1.764654924;3.529309849;36.73690706;10.37403198;1.069487833;False;System A 1391;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.84;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;21.36;Thermal;310;1;13;;;;;1.06;FP_13_06;CZ_SEM;48.5;30.9;2.8;26.836;;13.502;;FP_13_06_FE_InvRisol=2.800_d=13.502_l0=26.836.tif;2.8;26.6097;2016;1381;0.2139;87.2824;74.1466;1.1825;1.3068;415;402;948;606;27;11;27;11;609;894;20;18;0;0;1678;1569;3247;21827312.64;7.44E-05;74.3793;51000;0.423420406;0.175159236;0.193571323;0;35.59760255;0.870469046;1.740938091;34.42934146;1.740938091;0;False;System A 1392;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.5;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;22.01;Thermal;330;1;13;;;;;1.06;FP_16_01;CZ_SEM;48.2;31;2.2;26.21;;12.99;;FP_16_01_FE_InvRisol=2.200_d=12.990_l0=26.210.tif;2.2;26.0439;988;671;0.1561;236.2889;213.1873;0.9143;1.0959;168;171;74;29;6;3;6;3;26;78;0;0;0;0;118;116;234;3208668.32;3.65E-05;36.4637;51000;0.317871011;0.140769823;0.168729792;0;16.05027222;1.402450971;2.804901941;16.20610011;0;0;False;System A 1393;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.5;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;22.01;Thermal;330;1;13;;;;;1.06;FP_16_02;CZ_SEM;48.2;31;3.7;26.183;;13.114;;FP_16_02_FE_InvRisol=3.700_d=13.114_l0=26.183.tif;3.7;26.2201;1000;683;0.2933;167.5905;153.4744;1.1717;1.4254;296;291;372;73;12;7;12;7;80;318;2;22;0;2;492;462;954;9350270;5.10E-05;51.0146;51000;0.070797338;0.178694525;0.217386;0;23.79610428;1.016013441;2.032026883;21.28280788;2.566770799;0.106948783;False;System A 1394;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.5;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;24.41;Thermal;290;1;0.5;;;;;1.06;FR_02_05;CZ_SEM;46.9;32.5;2.8;26.341;;13.317;;FR_02_05_FE_InvRisol=2.800_d=13.317_l0=26.341.tif;2.8;26.3046;2019;1380;0.3524;248.0892;231.732;1.1463;1.3296;401;401;456;167;9;7;9;7;207;414;1;3;0;0;692;608;1300;21843964.8;2.98E-05;29.7565;51000;0.069141581;0.172155891;0.199684614;0;14.26023173;0.366233881;0.732467762;14.2144525;0.18311694;0;False;System A 1404;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.31;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;24.41;Thermal;290;1;0.5;;;;;1.06;FR_02_06;CZ_SEM;46.9;32.5;11.2;26.269;;13.134;;FR_02_06_FE_InvRisol=11.200_d=13.134_l0=26.269.tif;11.2;64.251;1012;697;;;;;;0;0;40;0;2;0;2;0;0;184;0;10;0;0;46;204;250;88480860.16;1.41E-06;1.4127;51000;41.95978789;;;0;0.226037586;0.011301879;0.022603759;1.039772894;0.113018793;0;True;System A 1405;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.09;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;24.61;Thermal;290;1;1;;;;;1.06;FR_06_00;CZ_SEM;48.4;31.6;3.7;26.107;;13.054;;FR_06_00_FE_InvRisol=3.700_d=13.054_l0=26.107.tif;3.7;26.1297;1000;681;0.2787;288.3491;273.891;1.2429;1.6719;316;303;370;78;19;18;19;18;89;281;3;47;1;6;525;525;1050;9322890;5.63E-05;56.313;51000;0.043456038;0.190424391;0.256151371;0;24.02688437;1.984363218;3.968726436;19.84363218;5.363143832;0.375420068;False;System A 1406;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.09;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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A 1415;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.25;Thermal;290;1;5;;;;;1.06;FR_08_03;CZ_SEM;48.2;31.8;2.8;26.466;;13.343;;FR_08_03_FE_InvRisol=2.800_d=13.343_l0=26.466.tif;2.8;26.4258;2019;1380;0.2664;122.2718;111.7213;1.1466;1.3963;489;472;671;332;15;24;15;24;450;555;3;14;0;1;1172;990;2162;21843964.8;4.95E-05;49.4874;51000;0.07600422;0.171865398;0.209293262;0;22.9582864;0.892695084;1.785390169;23.00406564;0.778246997;0.022889618;False;System A 1416;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.25;Thermal;290;1;5;;;;;1.06;FR_08_04;CZ_SEM;48.2;31.8;2.8;26.47;;13.247;;FR_08_04_FE_InvRisol=2.800_d=13.247_l0=26.470.tif;2.8;26.3651;2019;1380;0.2811;123.2281;108.1813;1.1387;1.3924;427;417;666;332;13;26;13;26;441;546;2;13;0;1;1150;985;2135;21843964.8;4.89E-05;48.8693;51000;0.198542257;0.17191817;0.210221182;0;22.84383831;0.892695084;1.785390169;22.59205252;0.686688526;0.022889618;False;System A 1417;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.25;Thermal;290;1;5;;;;;1.06;FR_08_05;CZ_SEM;48.2;31.8;2.8;26.448;;13.347;;FR_08_05_FE_InvRisol=2.800_d=13.347_l0=26.448.tif;2.8;26.4258;2019;1380;0.2149;133.5169;117.2224;1.1336;1.4164;454;444;752;354;12;28;12;28;430;625;9;29;0;3;1236;1130;2366;21843964.8;5.42E-05;54.1568;51000;0.041986768;0.169865887;0.212242451;0;25.31591701;0.915584702;1.831169404;24.14854651;1.739610934;0.068668853;False;System A 1418;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.59;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.46;Thermal;290;1;10;;;;;1.06;FR_11_00;CZ_SEM;47.5;31.9;3.7;26.683;;13.341;;FR_11_00_FE_InvRisol=3.700_d=13.341_l0=26.683.tif;3.7;26.4951;1000;681;0.2904;103.7465;89.3733;1.2884;1.7459;258;231;1568;182;25;20;25;20;158;1044;17;313;4;102;1847;2247;4094;9322890;0.0002;219.5671;51000;0.353340943;0.193148939;0.261734503;0;93.85501706;2.413414724;4.826829449;64.46498886;35.39674929;5.684932462;False;System A 1419;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.59;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.46;Thermal;290;1;10;;;;;1.06;FR_11_01;CZ_SEM;47.5;31.9;3.7;26.714;;13.357;;FR_11_01_FE_InvRisol=3.700_d=13.357_l0=26.714.tif;3.7;26.4951;1000;681;0.2629;96.2389;78.816;1.2887;1.6998;309;244;987;126;8;24;8;24;176;650;8;121;0;26;1203;1174;2377;9322890;0.0001;127.4819;51000;0.411395795;0.192962492;0.25451823;0;59.69179085;1.716206026;3.432412052;44.29956805;13.83691109;1.394417396;False;System A 1420;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.59;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.46;Thermal;290;1;10;;;;;1.06;FR_11_02;CZ_SEM;47.5;31.9;3.7;26.721;;13.361;;FR_11_02_FE_InvRisol=3.700_d=13.361_l0=26.721.tif;3.7;26.4028;1000;681;0.2767;96.5227;79.061;1.2923;1.7417;298;274;1028;157;31;14;31;14;216;685;6;134;0;35;1349;1262;2611;9322890;0.0001;140.0317;51000;0.598978236;0.193443605;0.260714018;0;63.55325441;2.413414724;4.826829449;48.32192593;15.01680273;1.877100341;False;System A 1421;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.59;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.46;Thermal;290;1;10;;;;;1.06;FR_11_03;CZ_SEM;47.5;31.9;2.8;26.778;;13.357;;FR_11_03_FE_InvRisol=2.800_d=13.357_l0=26.778.tif;2.8;26.6716;2016;1377;0.2827;83.1295;73.5558;1.1857;1.4144;421;413;991;641;31;30;31;30;722;852;22;20;2;0;1856;1623;3479;21764090.88;7.99E-05;79.9252;51000;0.199066036;0.177539867;0.211784083;0;37.49295133;1.40139095;2.802781901;36.16048124;1.929784259;0.045947244;False;System A 1422;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.59;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.46;Thermal;290;1;10;;;;;1.06;FR_11_04;CZ_SEM;47.5;31.9;2.8;26.736;;13.366;;FR_11_04_FE_InvRisol=2.800_d=13.366_l0=26.736.tif;2.8;26.6097;2016;1377;0.2714;87.0054;70.6707;1.2288;1.4418;438;432;1037;637;17;28;17;28;709;873;18;38;0;0;1833;1670;3503;21764090.88;8.05E-05;80.4766;51000;0.236757602;0.18386952;0.215741433;0;38.45784345;1.033812996;2.067625992;36.34427022;2.573045679;0;False;System A 1423;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.59;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.46;Thermal;290;1;10;;;;;1.06;FR_11_05;CZ_SEM;47.5;31.9;2.8;26.732;;13.451;;FR_11_05_FE_InvRisol=2.800_d=13.451_l0=26.732.tif;2.8;26.5481;2016;1377;0.2963;92.5525;74.0289;1.2059;1.4236;438;423;1151;613;22;45;22;45;729;938;25;50;0;0;1996;1786;3782;21764090.88;8.69E-05;86.8862;51000;0.34515701;0.179302654;0.211671995;0;40.52546945;1.539232683;3.078465366;38.2970281;3.44604332;0;False;System A 1424;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.19;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;27.29;Thermal;290;1;30;;;;;1.06;FR_15_00;CZ_SEM;48.1;31;3.7;26.843;;13.422;;FR_15_00_FE_InvRisol=3.700_d=13.422_l0=26.843.tif;3.7;26.4028;1000;681;0.2898;71.3046;58.0129;1.2719;1.6616;281;246;1681;353;50;16;50;16;312;1217;16;207;0;63;2175;2234;4409;9322890;0.0002;236.461;51000;0.826731874;0.189524661;0.247593503;0;109.0863455;3.539674929;7.079349858;82.00246919;23.91962149;3.378780614;False;System A 1425;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.19;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;27.29;Thermal;290;1;30;;;;;1.06;FR_15_05;CZ_SEM;48.1;31;2.8;26.775;;13.579;;FR_15_05_FE_InvRisol=2.800_d=13.579_l0=26.775.tif;2.8;26.7338;2016;1377;0.2867;66.4707;57.8611;1.2478;1.4433;435;394;1945;1174;43;34;43;34;1180;1866;27;30;0;0;3308;3202;6510;21764090.88;0.0001;149.5583;51000;0.076996681;0.183783784;0.212578246;0;71.65472744;1.768968904;3.537937809;69.97765302;2.618992923;0;False;System A 1430;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.02;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.57;Thermal;350;1;30;;;;;1.06;FS_11_00;CZ_SEM;48.8;30.9;2.2;26.479;;13.239;;FS_11_00_FE_InvRisol=2.200_d=13.239_l0=26.479.tif;2.2;26.5035;984;665;0.2996;146.16;133.2587;0.9136;1.1133;168;165;56;62;4;8;4;8;66;57;0;0;0;0;134;143;277;3167102.4;4.37E-05;43.7308;51000;0.046241684;0.138016467;0.168184908;0;18.62901559;1.894476162;3.788952324;19.41838066;0;0;False;System A 1431;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.02;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;26.57;Thermal;350;1;30;;;;;1.06;FS_11_01;CZ_SEM;48.5;31.1;3.7;26.268;;13.134;;FS_11_01_FE_InvRisol=3.700_d=13.134_l0=26.268.tif;3.7;26.3111;1000;681;0.1852;151.6555;139.7819;1.2766;1.6778;248;209;593;165;16;55;16;55;173;407;33;94;4;9;892;952;1844;9322890;9.89E-05;98.8964;51000;0.081971734;0.194396224;0.255489569;0;40.65263025;3.807832121;7.615664241;31.10623423;13.62238533;0.697208698;False;System A 1432;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.02;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;25.03;Thermal;350;1;1;;;;;1.06;FS_3_07;CZ_SEM;45.8;32.7;2.8;26.356;;13.19;;FS_3_07_FE_InvRisol=2.800_d=13.190_l0=26.356.tif;2.8;26.3651;2019;1380;0.3295;1088.3567;722.473;1.3226;1.8969;342;314;953;111;70;13;70;13;121;886;6;164;0;18;1296;1421;2717;21843964.8;6.22E-05;62.1911;51000;0.017260641;0.200545868;0.28762699;0;24.35455307;1.899838256;3.799676513;23.04984487;7.782469966;0.412013116;False;System A 1461;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;310;60;13;7.01;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;6600;4800;0;310;900;18;4.15;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;21.86;Thermal;310;60;18;;;;;1.06;FU_05_06;CZ_SEM;47.8;31.3;2.8;26.154;;13.089;;FU_05_06_FE_InvRisol=2.800_d=13.089_l0=26.154.tif;2.8;26.1248;2019;1380;0.3096;480.4738;452.0078;1.1219;1.0175;456;452;381;64;12;12;12;12;91;356;0;1;0;0;508;458;966;21843964.8;2.21E-05;22.1114;51000;0.055854381;0.171426389;0.155474062;0;10.18587981;0.549350821;1.098701642;10.23165904;0.045779235;0;False;System A 1486;;Silicon Native Oxide;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;290;600;18;7.49;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;21.03;Thermal;250;60;15;;;;;1.06;HA_03_01;CZ_SEM;48;31.7;2.5;27.722;;13.86;;HA_03_01_FE_InvRisol=2.500_d=13.860_l0=27.722.tif;2.5;27.5639;3036;2096;0.2221;94.6394;81.8947;1.0281;1.2519;547;515;1458;1218;15;35;15;35;1759;953;9;2;0;0;3280;2280;5560;39771600;6.99E-05;69.8991;51000;0.285968032;0.148354978;0.180649351;0;33.64209637;0.628589245;1.257178489;34.09468063;0.276579268;0;False;System A 1493;;Silicon Oxide 40 nm;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;6600;4800;0;250;600;15;4.75;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;21.03;Thermal;250;60;15;;;;;1.06;HA_03_02;CZ_SEM;48;31.7;2.5;27.627;;13.814;;HA_03_02_FE_InvRisol=2.500_d=13.814_l0=27.627.tif;2.5;27.4531;3036;2096;0.2266;98.4176;91.3738;1.0514;1.3238;542;529;1487;1309;44;30;44;30;1715;1100;12;8;0;0;3358;2515;5873;39771600;7.38E-05;73.8341;51000;0.315722012;0.152222383;0.191660634;0;35.15071056;0.930312082;1.860624164;35.38957447;0.502871396;0;False;System A 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(polystyrene);PMMA;NO;6600;4800;0;250;600;15;5;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;20.85;Thermal;250;30;15;;;;;1.06;HA_9_01bis;CZ_SEM;48.4;30.1;2.2;27.023;;13.512;;HA_9_01bis_FE_InvRisol=2.200_d=13.512_l0=27.023.tif;2.2;26.819;984;671;0.1998;73.5324;62.8944;1.0515;1.4778;178;177;235;159;18;15;18;15;163;238;2;6;0;0;456;454;910;3195677.76;0.0001;142.3798;51000;0.378886371;0.155639432;0.218738899;0;61.64576493;5.163223967;10.32644793;62.74099426;2.503381317;0;False;System A 1581;;Silicon Native Oxide;;PS-r-PDMS;Toluene;PS (polystyrene);PDMS;NO;8400;3600;0;250;900;18;6.99;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;190;300;18;;;;;1.03;JB_01_18;CZ_SEM;37.6;34.4;2.1;20.678;;10.339;;JB_01_18_FE_InvRisol=2.100_d=10.339_l0=20.678.tif;2.1;20.6769;992;673;0.0328;145.8737;134.0472;1.2781;2.0895;215;212;241;82;16;5;16;5;92;230;0;12;0;0;381;351;732;2944186.56;0.0001;124.3128;22000;0.002659902;0.247238611;0.404197698;0;54.85386089;3.566350089;7.132700178;54.6840347;4.075828673;0;False;System C 1594;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;210;300;18;;;;;1.03;JB_02_02;CZ_SEM;42.6;32.8;11.2;23.396;;11.698;;JB_02_02_FE_InvRisol=11.200_d=11.698_l0=23.396.tif;11.2;64.251;1016;697;;;;;;0;0;1;10;0;0;0;0;19;0;0;0;0;0;20;10;30;88830586.88;1.69E-07;0.1689;22000;46.61311853;;;0;0.06191561;0;0;0.106945145;0;0;True;System C 1595;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;210;300;18;;;;;1.03;JB_02_05;CZ_SEM;42.6;32.8;3.7;20.156;;10.078;;JB_02_05_FE_InvRisol=3.700_d=10.078_l0=20.156.tif;3.7;21.1075;1007;688;0.1358;236.9139;201.0263;1.4076;2.1551;363;340;800;51;13;5;13;5;44;649;1;88;2;10;892;925;1817;9484651.04;9.58E-05;95.7863;22000;2.305912005;0.279341139;0.427684064;0;44.86195625;0.948901542;1.897803085;36.53270938;9.383581918;0.632601028;False;System C 1596;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;210;300;18;;;;;1.03;JB_02_06;CZ_SEM;42.6;32.8;2.2;19.914;;10.224;;JB_02_06_FE_InvRisol=2.200_d=10.224_l0=19.914.tif;2.2;19.8485;995;676;0.088;223.8025;170.9423;1.3355;2.1241;239;239;198;35;8;1;8;1;29;199;0;4;0;1;251;248;499;3255480.8;7.66E-05;76.64;22000;0.164728073;0.261248044;0.41551252;0;35.78580467;1.3822843;2.764568601;35.01786894;1.228697156;0.153587144;False;System C 1597;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;210;300;18;;;;;1.03;JB_02_08;CZ_SEM;42.4;32.8;1.3;19.379;;9.75;;JB_02_08_FE_InvRisol=1.300_d=9.750_l0=19.379.tif;1.3;19.4336;980;661;-0.0691;425.6933;288.8295;;;149;152;67;10;6;5;6;5;10;66;0;2;0;0;95;95;190;1094748.2;8.68E-05;86.7779;22000;0.140675966;;;0;35.16790436;5.023986338;10.04797268;34.71117833;1.826904123;0;False;System C 1598;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;210;300;18;;;;;1.03;JB_02_12;CZ_SEM;33.3;35.1;3.7;20.045;;9.911;;JB_02_12_FE_InvRisol=3.700_d=9.911_l0=20.045.tif;3.7;21.0782;2031;1392;0.2289;247.6236;213.5586;1.4279;2.2441;762;713;3133;188;20;13;20;13;157;2612;7;307;3;30;3376;3546;6922;38703710.88;8.94E-05;89.4229;22000;2.512450393;0.288144486;0.452850368;0;42.90286286;0.42631571;0.852631421;35.7717637;8.112917156;0.42631571;False;System C 1599;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;210;300;18;;;;;1.03;JB_02_13;CZ_SEM;33.3;35.1;3.7;19.942;;9.903;;JB_02_13_FE_InvRisol=3.700_d=9.903_l0=19.942.tif;3.7;20.9615;2031;1392;0.2271;277.0004;247.4413;1.4276;2.2577;757;703;3006;204;25;4;25;4;133;2491;6;300;6;48;3246;3465;6711;38703710.88;8.67E-05;86.6971;22000;2.492451746;0.288316672;0.45596284;0;41.46889183;0.374641079;0.749282158;33.89855831;7.90621863;0.697607526;False;System C 1600;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;210;300;18;;;;;1.03;JB_02_14;CZ_SEM;28.2;36.1;3.7;19.976;;9.988;;JB_02_14_FE_InvRisol=3.700_d=9.988_l0=19.976.tif;3.7;21.0197;2031;1392;0.16;272.8306;239.7783;1.4106;2.186;741;693;2784;193;27;5;27;5;146;2361;6;275;3;18;3034;3174;6208;38703710.88;8.02E-05;80.199;22000;2.545876763;0.282458951;0.43772527;0;38.45884454;0.413397053;0.826794105;32.38707533;7.260285735;0.271291816;False;System C 1601;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;230;300;18;;;;;1.03;JB_03_02;CZ_SEM;39.8;33.7;11.2;23.478;;11.739;;JB_03_02_FE_InvRisol=11.200_d=11.739_l0=23.478.tif;11.2;63.3635;1016;697;;;;10.597;16.2133;21;30;500;689;4;4;4;4;360;682;100;77;25;8;1150;1561;2711;88830586.88;1.53E-05;15.2594;22000;45.92907769;1.805434875;2.762296618;0;6.692514604;0.045029535;0.09005907;5.865096903;1.992556913;0.185746831;True;System C 1602;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;230;300;18;;;;;1.03;JB_03_05;CZ_SEM;39.8;33.7;3.7;19.851;;9.925;;JB_03_05_FE_InvRisol=3.700_d=9.925_l0=19.851.tif;3.7;20.9326;1007;688;0.2264;568.5568;470.3757;1.2853;1.8692;379;339;543;60;8;5;8;5;35;284;7;180;4;5;631;738;1369;9484651.04;7.22E-05;72.1692;22000;2.652046411;0.259002519;0.376664987;0;31.78820167;0.685317781;1.370635561;16.816644;19.71606538;0.474450771;False;System C 1603;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;230;300;18;;;;;1.03;JB_03_06;CZ_SEM;39.8;33.7;2.2;19.855;;9.936;;JB_03_06_FE_InvRisol=2.200_d=9.936_l0=19.855.tif;2.2;19.6751;995;676;0.4922;444.9429;394.0924;1.0793;1.6965;230;228;56;23;3;4;3;4;16;63;1;0;0;0;83;98;181;3255480.8;2.78E-05;27.7993;22000;0.455096243;0.217250403;0.341485507;0;12.13338441;1.075110011;2.150220023;12.13338441;0.307174289;0;False;System C 1604;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;230;300;18;;;;;1.03;JB_03_10;CZ_SEM;39.8;33.7;3.7;19.706;;9.868;;JB_03_10_FE_InvRisol=3.700_d=9.868_l0=19.706.tif;3.7;20.9326;3055;2097;0.2112;429.1316;370.0314;1.3303;1.9735;1210;1131;4409;647;25;8;25;8;381;2380;50;1286;38;49;5099;5795;10894;87702726.15;6.21E-05;62.1075;22000;3.018312639;0.26961897;0.399979732;0;28.82464561;0.188135543;0.376271086;15.74067376;15.2332779;0.495993704;False;System C 1605;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;230;300;18;;;;;1.03;JB_03_11;CZ_SEM;39.8;33.7;3.7;19.738;;9.952;;JB_03_11_FE_InvRisol=3.700_d=9.952_l0=19.738.tif;3.7;20.9761;3055;2097;0.3095;421.0354;380.5664;1.3238;1.9837;1223;1165;4856;622;46;9;46;9;372;2481;57;1513;41;59;5629;6358;11987;87702726.15;6.83E-05;68.3388;22000;3.040961239;0.266036977;0.398653537;0;31.23050013;0.313559238;0.627118476;16.26517285;17.90138196;0.570107706;False;System C 1606;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;250;300;18;;;;;1.03;JB_04_07;CZ_SEM;42.9;32.6;2.2;19.585;;9.787;;JB_04_07_FE_InvRisol=2.200_d=9.787_l0=19.585.tif;2.2;19.5896;995;676;0.4849;525.0213;361.7677;1.0237;1.5508;244;245;65;23;7;3;7;3;21;54;0;7;0;0;107;100;207;3255480.8;3.18E-05;31.7925;22000;0.011742302;0.209195872;0.316910187;0;13.51566871;1.535871445;3.07174289;11.51903584;2.150220023;0;False;System C 1609;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;270;300;18;;;;;1.03;JB_05_07;CZ_SEM;40;33.5;2.2;19.898;;9.81;;JB_05_07_FE_InvRisol=2.200_d=9.810_l0=19.898.tif;2.2;19.7614;995;676;-0.1458;448.9674;397.0873;1.0994;1.6433;215;216;57;18;3;2;3;2;18;56;0;2;0;0;84;84;168;3255480.8;2.58E-05;25.8026;22000;0.344432846;0.224138634;0.335025484;0;11.51903584;0.767935722;1.535871445;11.36544869;0.614348578;0;False;System C 1615;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;270;300;18;;;;;1.03;JB_05_09;CZ_SEM;40;33.5;3.7;19.674;;9.854;;JB_05_09_FE_InvRisol=3.700_d=9.854_l0=19.674.tif;3.7;20.9906;3055;2097;0.1286;785.6094;771.8184;1.2855;1.8633;1341;1284;3660;435;29;5;29;5;301;1538;28;1336;23;58;4190;4877;9067;87702726.15;5.17E-05;51.6917;22000;3.237705523;0.260909275;0.378181449;0;23.34591055;0.19383662;0.38767324;10.48428071;15.55253821;0.461787242;False;System C 1616;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;290;300;18;;;;;1.03;JB_06_06;CZ_SEM;44;32.3;3.7;19.674;;9.837;;JB_06_06_FE_InvRisol=3.700_d=9.837_l0=19.674.tif;3.7;21.1665;1007;688;-0.324;2777.9628;2762.2963;1.0773;1.5325;465;444;136;47;4;6;4;6;37;83;7;22;0;5;199;210;409;9484651.04;2.16E-05;21.5612;22000;3.654460646;0.219030192;0.311578733;0;9.64716568;0.527167523;1.054335047;6.326010282;3.057571636;0.263583762;False;System C 1620;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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C 1622;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;290;300;18;;;;;1.03;JB_06_10;CZ_SEM;37.5;34.1;3.7;19.534;;9.767;;JB_06_10_FE_InvRisol=3.700_d=9.767_l0=19.534.tif;3.7;20.9326;3055;2097;0.3973;999.301;979.6599;1.2928;1.8057;1288;1184;7846;939;52;7;52;7;418;4240;203;2564;54;301;9025;11430;20455;87702726.15;0.0001;116.6155;22000;3.456183618;0.264728166;0.369755298;0;50.08396196;0.336363546;0.672727093;26.55561694;31.54976044;2.023882356;False;System C 1623;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;290;300;18;;;;;1.03;JB_06_11;CZ_SEM;37.5;34.1;3.7;19.488;;9.744;;JB_06_11_FE_InvRisol=3.700_d=9.744_l0=19.488.tif;3.7;20.9906;3055;2097;0.3547;859.6721;830.8183;1.2594;1.8407;1148;1122;3326;521;11;8;11;8;356;1415;31;1162;34;44;3895;4442;8337;87702726.15;4.75E-05;47.5299;22000;3.712084904;0.258497537;0.377811987;0;21.93204344;0.108320464;0.216640928;10.09660747;13.60276986;0.444684011;False;System C 1624;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;300;18;;;;;1.03;JB_07_06;CZ_SEM;47.4;31.1;3.7;19.865;;9.933;;JB_07_06_FE_InvRisol=3.700_d=9.933_l0=19.865.tif;3.7;20.9326;1007;688;0.4701;687.1806;463.3843;1.2411;1.751;476;464;236;62;7;4;7;4;50;128;1;71;3;2;319;350;669;9484651.04;3.53E-05;35.2675;22000;2.616820597;0.249894292;0.352562167;0;15.7095922;0.579884276;1.159768552;9.383581918;7.591212338;0.263583762;False;System C 1625;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;300;18;;;;;1.03;JB_07_07;CZ_SEM;47.4;31.1;2.2;19.902;;9.989;;JB_07_07_FE_InvRisol=2.200_d=9.989_l0=19.902.tif;2.2;19.7614;995;676;0.3999;695.7395;513.2838;1.0136;1.5294;236;240;28;20;2;1;2;1;18;30;0;1;0;0;52;55;107;3255480.8;1.64E-05;16.4338;22000;0.354482974;0.202943238;0.306216839;0;7.372182935;0.460761433;0.921522867;7.372182935;0.307174289;0;False;System C 1626;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;300;18;;;;;1.03;JB_07_09;CZ_SEM;47.4;31.1;3.7;19.532;;9.73;;JB_07_09_FE_InvRisol=3.700_d=9.730_l0=19.532.tif;3.7;20.9326;3055;2097;-0.0874;1744.2953;2185.0369;1.265;1.7142;1493;1444;2450;411;17;10;17;10;389;812;18;902;6;23;2947;3139;6086;87702726.15;3.47E-05;34.6968;22000;3.461297035;0.260020555;0.352353546;0;16.31078146;0.153929081;0.307858161;6.846993547;10.48998179;0.165331235;False;System C 1627;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;300;18;;;;;1.03;JB_07_10;CZ_SEM;47.4;31.1;3.7;19.535;;9.767;;JB_07_10_FE_InvRisol=3.700_d=9.767_l0=19.535.tif;3.7;21.0051;3055;2097;0.4927;1593.9945;1353.9224;1.1824;1.702;1117;1083;2399;487;13;3;13;3;408;936;28;768;19;36;2969;3092;6061;87702726.15;3.46E-05;34.5542;22000;3.626286072;0.242121429;0.348520528;0;16.45330839;0.091217233;0.182434466;7.662247566;9.076114677;0.313559238;False;System C 1628;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;300;18;;;;;1.03;JB_07_11;CZ_SEM;47.4;31.1;3.7;19.504;;9.743;;JB_07_11_FE_InvRisol=3.700_d=9.743_l0=19.504.tif;3.7;20.9761;3055;2097;-0.0065;1309.945;1266.073;1.2006;1.7139;1103;1031;4560;413;16;3;16;3;250;1918;61;1686;26;49;5070;5896;10966;87702726.15;6.25E-05;62.518;22000;3.636601688;0.246453864;0.351821821;0;28.35145621;0.108320464;0.216640928;12.35993506;19.91956324;0.427580779;False;System C 1629;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;330;300;18;;;;;1.03;JB_08_10;CZ_SEM;38.4;34.1;3.7;19.578;;9.746;;JB_08_10_FE_InvRisol=3.700_d=9.746_l0=19.578.tif;3.7;20.9326;3055;2097;-0.1771;3496.2925;4015.4492;1.253;1.9177;1290;1227;4152;825;17;12;17;12;573;2124;91;1099;39;56;5092;5381;10473;87702726.15;5.97E-05;59.7074;22000;3.343816186;0.257131131;0.39353581;0;28.37426052;0.165331235;0.330662469;15.37580483;13.5685634;0.541602321;False;System C 1632;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;330;300;18;;;;;1.03;JB_08_11;CZ_SEM;38.4;34.1;3.7;19.517;;9.868;;JB_08_11_FE_InvRisol=3.700_d=9.868_l0=19.517.tif;3.7;20.9906;3055;2097;0.5077;2423.0318;1548.3427;1.2834;1.9636;1319;1235;7076;1156;19;9;19;9;682;3184;161;2355;79;121;8412;9530;17942;87702726.15;0.0001;102.2887;22000;3.637835863;0.260113498;0.397973247;0;46.93126634;0.159630158;0.319260315;22.04036391;28.68781976;1.140215412;False;System C 1633;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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C 1635;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;350;300;18;;;;;1.03;JB_09_06;CZ_SEM;45.5;31.5;3.7;20.059;;10.03;;JB_09_06_FE_InvRisol=3.700_d=10.030_l0=20.059.tif;3.7;21.1075;1007;688;-0.1664;1280.3942;1127.7502;1.1961;1.5966;390;387;281;110;5;6;5;6;109;154;4;59;1;6;417;419;836;9484651.04;4.41E-05;44.0712;22000;2.546973874;0.238504487;0.318364905;0;20.61225017;0.579884276;1.159768552;13.86450587;6.642310796;0.369017266;False;System C 1636;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;350;300;18;;;;;1.03;JB_09_07;CZ_SEM;45.5;31.5;2.2;19.929;;9.965;;JB_09_07_FE_InvRisol=2.200_d=9.965_l0=19.929.tif;2.2;19.9363;995;676;-0.2638;1340.6628;926.8101;1.0525;1.1405;250;254;28;58;3;0;3;0;54;28;1;2;0;0;93;90;183;3255480.8;2.81E-05;28.1064;22000;0.018311665;0.211239338;0.228901154;0;13.20849443;0.460761433;0.921522867;12.59414585;0.921522867;0;False;System C 1637;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;350;300;18;;;;;1.03;JB_09_09;CZ_SEM;45.5;31.5;3.7;19.632;;9.816;;JB_09_09_FE_InvRisol=3.700_d=9.816_l0=19.632.tif;3.7;21.1075;1007;688;0.6963;1664.9323;1228.3083;1.1147;1.4342;419;381;232;42;5;2;5;2;33;103;5;91;0;7;290;355;645;9484651.04;3.40E-05;34.0023;22000;3.621792118;0.227118989;0.292216789;0;14.44439014;0.369017266;0.738034533;7.16947832;10.12161645;0.369017266;False;System C 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Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;900;18;;;;;1.03;JB_10_05;CZ_SEM;46.6;31.5;3.7;19.867;;9.934;;JB_10_05_FE_InvRisol=3.700_d=9.934_l0=19.867.tif;3.7;20.9326;1007;688;0.1743;406.9319;323.5046;1.3282;1.9643;384;356;905;156;11;6;11;6;95;521;12;258;11;11;1095;1249;2344;9484651.04;0.0001;123.5681;22000;2.611790312;0.267404872;0.395470103;0;55.93247424;0.89618479;1.79236958;32.47351945;28.46704627;1.159768552;False;System C 1642;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;900;18;;;;;1.03;JB_10_09;CZ_SEM;43.9;32.5;7.4;19.736;;9.868;;JB_10_09_FE_InvRisol=7.400_d=9.868_l0=19.736.tif;7.4;41.8652;3063;2105;;;;;;6;6;130;670;0;11;0;11;2106;55;211;6;24;1;2731;773;3504;353071397.4;4.96E-06;4.9622;22000;35.92332617;;;0;1.132915334;0.015577586;0.031155172;3.060287545;0.614606569;0.035403604;True;System C 1645;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;900;18;;;;;1.03;JB_10_10;CZ_SEM;43.9;32.5;7.4;19.668;;9.834;;JB_10_10_FE_InvRisol=7.400_d=9.834_l0=19.668.tif;7.4;41.8652;3063;2105;;;;;;0;0;17;141;0;1;0;1;447;7;10;0;0;0;484;151;635;353071397.4;8.99E-07;0.8993;22000;36.07353429;;;0;0.223750778;0.001416144;0.002832288;0.642929452;0.028322883;0;True;System C 1646;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;900;18;;;;;1.03;JB_10_12;CZ_SEM;43.9;32.5;3.7;19.73;;9.865;;JB_10_12_FE_InvRisol=3.700_d=9.865_l0=19.730.tif;3.7;20.9471;3055;2097;0.1949;449.6077;376.8888;1.3438;1.9873;1192;1025;13062;1154;74;13;74;13;862;8024;155;3327;39;562;14593;17860;32453;87702726.15;0.0002;185.0171;22000;2.992101207;0.272437912;0.402899138;0;81.04651146;0.495993704;0.991987408;50.65977074;39.70230063;3.426347312;False;System C 1647;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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1649;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;90;18;;;;;1.03;JB_12_09;CZ_SEM;41.8;33;3.7;19.881;;9.941;;JB_12_09_FE_InvRisol=3.700_d=9.941_l0=19.881.tif;3.7;20.9326;1007;688;0.4953;1103.8593;783.0255;1.0565;1.3122;432;426;101;42;4;2;4;2;41;79;1;12;0;1;156;154;310;9484651.04;1.63E-05;16.3422;22000;2.576592116;0.212554069;0.263997586;0;7.538495586;0.316300514;0.632601028;6.326010282;1.370635561;0.052716752;False;System C 1650;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;90;18;;;;;1.03;JB_12_10;CZ_SEM;41.8;33;2.2;19.564;;9.782;;JB_12_10_FE_InvRisol=2.200_d=9.782_l0=19.564.tif;2.2;19.5896;995;676;0.7059;917.9123;637.217;0.9345;0.8957;212;212;10;14;2;1;2;1;14;10;0;0;0;0;30;27;57;3255480.8;8.75E-06;8.7545;22000;0.065383515;0.191065222;0.183132284;0;3.686091468;0.460761433;0.921522867;3.686091468;0;0;False;System C 1651;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;30;18;;;;;1.03;JB_13_09;CZ_SEM;43.8;32.5;11.2;23.54;;11.77;;JB_13_09_FE_InvRisol=11.200_d=11.770_l0=23.540.tif;11.2;63.3635;1016;697;;;;11.5169;17.9973;12;14;335;564;2;1;2;1;304;453;88;36;24;3;898;1101;1999;88830586.88;1.13E-05;11.2518;22000;45.82496677;1.956992353;3.058164826;0;5.060193969;0.016886076;0.033772151;4.260919727;1.395915578;0.15197468;True;System C 1652;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;30;18;;;;;1.03;JB_13_11;CZ_SEM;43.8;32.5;3.7;19.539;;9.77;;JB_13_11_FE_InvRisol=3.700_d=9.770_l0=19.539.tif;3.7;20.9326;1007;688;0.5763;1314.7978;951.918;1.1823;1.7291;385;373;222;43;5;1;5;1;28;125;6;61;1;2;280;300;580;9484651.04;3.06E-05;30.5757;22000;3.443402287;0.242026612;0.353961105;0;13.96993937;0.316300514;0.632601028;8.06566311;7.064044815;0.158150257;False;System C 1653;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;30;18;;;;;1.03;JB_13_12;CZ_SEM;43.8;32.5;2.2;19.353;;9.676;;JB_13_12_FE_InvRisol=2.200_d=9.676_l0=19.353.tif;2.2;19.3373;995;676;0.7947;1334.5652;981.0424;1.0497;1.4943;205;208;30;16;3;2;3;2;13;28;2;2;0;0;56;54;110;3255480.8;1.69E-05;16.8946;22000;0.040578646;0.216969822;0.308867301;0;7.065008646;0.767935722;1.535871445;6.297072924;1.228697156;0;False;System C 1654;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;30;18;;;;;1.03;JB_13_13;CZ_SEM;43.8;32.5;2.2;19.328;;9.878;;JB_13_13_FE_InvRisol=2.200_d=9.878_l0=19.328.tif;2.2;19.3373;995;676;0.7587;1147.0254;948.5647;0.9873;1.413;225;223;16;11;4;3;4;3;7;16;2;0;0;0;39;36;75;3255480.8;1.15E-05;11.519;22000;0.024052574;0.199898765;0.286090302;0;4.146852901;1.075110011;2.150220023;3.532504323;0.614348578;0;False;System C 1655;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;10;18;;;;;1.03;JB_14_10;CZ_SEM;42.4;33.1;3.7;19.634;;9.817;;JB_14_10_FE_InvRisol=3.700_d=9.817_l0=19.634.tif;3.7;21.1665;1007;688;0.4894;565.86;499.5154;1.2169;1.6897;370;364;328;70;10;4;10;4;34;163;3;88;5;9;418;454;872;9484651.04;4.60E-05;45.969;22000;3.756081421;0.247916879;0.344239584;0;20.98126744;0.738034533;1.476069066;10.38520021;9.594448928;0.738034533;False;System C 1656;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;10;18;;;;;1.03;JB_14_11;CZ_SEM;42.4;33.1;2.2;19.541;;9.771;;JB_14_11_FE_InvRisol=2.200_d=9.771_l0=19.541.tif;2.2;19.5048;995;676;0.6336;689.2088;582.2692;0.9642;1.4367;237;238;50;22;9;6;9;6;19;44;0;3;0;2;96;96;192;3255480.8;2.95E-05;29.4887;22000;0.092711636;0.197359533;0.294074302;0;11.0582744;2.303807167;4.607614335;9.675990103;0.921522867;0.307174289;False;System C 1657;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;5;18;;;;;1.03;JB_15_10;CZ_SEM;24;36.9;3.7;19.704;;9.852;;JB_15_10_FE_InvRisol=3.700_d=9.852_l0=19.704.tif;3.7;20.9326;1007;688;0.4751;713.7113;692.1294;1.2031;1.7439;365;348;678;104;9;5;9;5;81;256;8;261;3;8;812;931;1743;9484651.04;9.19E-05;91.8853;22000;3.023382862;0.244234673;0.354019488;0;41.22450034;0.738034533;1.476069066;17.76554554;28.36161276;0.579884276;False;System C 1658;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS (polystyrene);P(DMS-r-VMS);NO;15800;6200;0;Toluene;24;Thermal;310;5;18;;;;;1.03;JB_15_11;CZ_SEM;24;36.9;2.2;19.84;;9.933;;JB_15_11_FE_InvRisol=2.200_d=9.933_l0=19.840.tif;2.2;19.6751;995;676;-0.1986;962.4128;656.0479;0.9886;1.4176;229;230;42;48;7;4;7;4;43;42;0;4;0;0;106;110;216;3255480.8;3.32E-05;33.1748;22000;0.417308826;0.19905366;0.285432397;0;13.822843;1.689458589;3.378917179;13.05490728;1.228697156;0;False;System C 1659;;Silicon Native Oxide;;OH-PMMA-Br;Toluene;PMMA;0;NO;11800;0;0;250;600;18;7.8;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;25;Thermal;250;900;18;;;;;1.06;Rand_1_bb_04_60sec;CZ_SEM;46.8;32.4;3.7;27.192;;13.596;;Rand_1_bb_04_60sec_FE_InvRisol=3.700_d=13.596_l0=27.192.tif;3.7;26.8709;1000;687;0.2668;164.9756;135.7835;1.1302;1.45;265;255;234;211;5;13;5;13;271;166;1;6;0;0;522;428;950;9405030;5.05E-05;50.5049;51000;0.593937802;0.166254781;0.213298029;0;23.65755346;0.956934747;1.913869493;23.23224913;0.744282581;0;False;System A 1665;;Silicon Oxide 40 nm;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;250;900;18;6;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;22.93;Thermal;250;60;18;;;;;1.06;Rand_1_min_BA10_02;CZ_SEM;48.9;30.5;3.7;27.487;;13.743;;Rand_1_min_BA10_02_FE_InvRisol=3.700_d=13.743_l0=27.487.tif;3.7;27.6555;999;686;0.2215;83.6659;71.5778;1.2418;1.6953;263;260;724;461;18;19;18;19;569;577;8;25;0;3;1363;1155;2518;9381948.66;0.0001;134.1939;51000;0.305571927;0.180717456;0.246714691;0;63.15319146;1.971871801;3.943743602;61.07473199;3.517392942;0.159881497;False;System A 1667;;Silicon Oxide 40 nm;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;250;60;18;6;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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(polystyrene);PMMA;NO;25000;26000;0;Toluene;23.02;Thermal;250;60;18;;;;;1.06;Rand_3_min_BA_9_01;CZ_SEM;49.3;30.1;3.7;27.4;;13.7;;Rand_3_min_BA_9_01_FE_InvRisol=3.700_d=13.700_l0=27.400.tif;3.7;27.1599;999;686;0.275;79.9409;62.4619;1.2478;1.7272;292;287;744;423;27;17;27;17;560;558;3;35;0;0;1391;1102;2493;9381948.66;0.0001;132.8615;51000;0.440066789;0.182160584;0.252145985;0;62.19390248;2.344928628;4.689857256;59.58250469;4.050331267;0;False;System A 1672;;Silicon Oxide 45 nm;;RCP;Toluene;PS (polystyrene);PMMA;NO;7400;5800;0;250;900;18;7.95;Neat;NO;NO;NO;0;0;0;0;0;0;PS 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